光电耦合器内部气氛控制技术及工艺探讨

光电耦合器内部气氛控制技术对提高系统的稳定性和可靠性,降低能耗等具有重要意义。在实际应用中,必须考虑到外界环境变化时,影响其工作性能的因素及相关参数。对于传统控制方法而言,由于没有充分考虑干扰产生过程以及外部条件而导致控制系统不稳定或失控的情况时有发生。本文主要对光电耦合器内部气氛控制技术及工艺进行探讨,以供参考。

光电耦合器内部气氛控制技术及工艺研究

为满足尖端领域对高可靠性元器件内部气氛控制的要求,分析了内部气氛的构成及现有内部气氛控制水平,并基于现有工艺,采取多维度内部气氛控制的工艺措施,在各工艺维度上,通过试验研究对工艺条件进行迭代验证,并增加配套控制措施,确定了各工艺维度的条件。经过试验验证,内部气氛控制水平有显著提升,可满足航天高可靠性的控制要求且有较大余量。

混合集成电路内部气氛研究

文章介绍了混合集成电路内部气氛控制办法。由截断气氛来源入手,从材料的选用、工艺参数的设置、工艺过程的控制等三方面进行了分析,在控制混合电路内部气氛上取得了明显效果。