期刊文献+
共找到1篇文章
< 1 >
每页显示 20 50 100
溢流冲洗槽结构优化设计
1
作者 宋伟峰 《清洗世界》 CAS 2020年第12期15-16,共2页
介绍半导体行业溢流冲洗槽常用结构及优化设计,在半导体芯片制程中溢流冲洗槽是一种常用的工艺槽体,存在于半导体工艺过程,对芯片制程和半导体材料制程有着重要作用。
关键词 结构优化设计 溢流冲洗 快排冲洗 溢流冲洗 冲洗槽优化
下载PDF
上一页 1 下一页 到第
使用帮助 返回顶部