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溢流冲洗槽结构优化设计
1
作者
宋伟峰
《清洗世界》
CAS
2020年第12期15-16,共2页
介绍半导体行业溢流冲洗槽常用结构及优化设计,在半导体芯片制程中溢流冲洗槽是一种常用的工艺槽体,存在于半导体工艺过程,对芯片制程和半导体材料制程有着重要作用。
关键词
结构
优化
设计
溢流
冲洗
槽
快排
冲洗
溢流
冲洗
冲洗槽优化
下载PDF
职称材料
题名
溢流冲洗槽结构优化设计
1
作者
宋伟峰
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《清洗世界》
CAS
2020年第12期15-16,共2页
文摘
介绍半导体行业溢流冲洗槽常用结构及优化设计,在半导体芯片制程中溢流冲洗槽是一种常用的工艺槽体,存在于半导体工艺过程,对芯片制程和半导体材料制程有着重要作用。
关键词
结构
优化
设计
溢流
冲洗
槽
快排
冲洗
溢流
冲洗
冲洗槽优化
分类号
TQ520 [化学工程—煤化学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
溢流冲洗槽结构优化设计
宋伟峰
《清洗世界》
CAS
2020
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