低温微磨料气射流加工的硬脆材料耐冲蚀性能对比

低温微磨料气射流加工硬脆材料时,其变脆易被冲蚀去除。对碳化硅(SiC)、氮化硅(Si3N4)、钇稳定氧化锆(YSZ)、99氧化铝(99 Al2O3)、石英玻璃5种硬脆材料进行低温微磨料气射流加工对比实验,探究加工压力、冲击加工角度及加工次数等工艺参数对5种硬脆材料的冲蚀去除率、低温冲蚀槽三维形貌及表面轮廓的影响,优选出低温下耐冲蚀性能良好的硬脆材料。结果表明:随着加工压力和加工次数增加,5种材料的冲蚀去除率都不断增大;随着冲击加工角度变化,5种材料的低温冲蚀槽体积也在变化,并在加工角度为90°的垂直加工角度附近时达到最大;在相同的加工工艺参数下,Si_(3)N_(4)材料的冲蚀去除率最小,其最大低温冲蚀槽深度只有20μm,SiC材料的与其相差不大,YSZ和99 Al_(2)O_(3)的冲蚀去除率依次增大,但石英玻璃材料的冲蚀去除率最大且远大于其他4种材料的。同时,Si3N4的低温冲蚀槽槽形不明显,且其表面较平整,去除量最小,因而耐冲蚀性能最佳。