准分子光源的进展

准分子光源是一种新颖光源。本文讨论其基本原理、可能型式和特点，以及激励这类光源的专门放电——介质阻挡放电。准分子光源在近十年内正在国内外蓬勃发展，本文还介绍有关研究的一些结果。

用于光刻成像技术中的双腔准分子光源(英文)

MOPA(MasterOscillator&PowerAmplifier)是采用双腔技术的准分子光源,它的成功量产将向光刻工厂提供前所未有的光谱带宽性能和输出功率,并大大降低成本,而且还适用于所有DUV曝光波长。

新型无极准分子光源深度处理水相中含N-杂环化合物

采用微波激发Kr/I2混合气体产生的206 nm准分子紫外光降解水相含N-杂环化合物,考察了206 nm准分子光直接光解模拟喹啉和吲哚废水的效果.结果表明,初始浓度为20 mg.L-1的吲哚溶液,光照80 min时去除率达62.0%,150 min时TOC去除达50.7%.光照时间、初始浓度和溶液的pH值对喹啉的降解有一定的影响.相同条件下,喹啉的去除率和TOC损失率都明显低于吲哚.光解后的溶液经旋转蒸发提取,顶空注射进入气相色谱/质谱联用仪(GC/MS)定性分析,结果表明,光照下喹啉发生开环降解,生成了甲苯、二甲苯、酸、醛和酯类化合物,而吲哚降解过程中发生了聚合反应.最后,根据中间产物,推断了206 nm准分子光源光解喹啉和吲哚的机制.

氙准分子光源的实验研究

氙准分子光源发射波长为１７２ｎｍ真空紫外光谱带．实验研究了它的辐射特性．用原子、分子碰撞辐射动态模型（ＣＲＡＭ）的结果，分析了氙准分子１７２ｎｍ辐射强度与所加电场大小、频率和输入功率的关系。

XeI~*准分子紫外光源的发光特性研究

采用石英做介质阻挡层,对高气压XeI*准分子紫外光源进行了实验研究,从放电功率、放电频率、总气压、气体配比等参数分析了光源的工作特性,其最佳工作参数为总气压320Torr、I2分压0.37%,电源频率58.7kHz。在此条件下当放电电压4.6kV、功率66W时,在距光源8.5cm处得到的紫外光辐射强度为31.2μW/cm2。

222 nm准分子紫外消毒光源的研究与应用进展

近几年,辐射中心波长为222 nm的准分子紫外消毒光源因其安全、起效快等特点而备受关注。然而,国内对222 nm准分子紫外消毒光源的研究尚处于起步阶段,对其详细作用机制的了解也不深入。本文以222nm准分子紫外消毒光源为主题,介绍了其基本原理,并梳理了其研究脉络,详细叙述了该种光源的研究现状,分析讨论了应用场景和实用性前景,以期对222 nm准分子紫外消毒光源有整体系统性认识,促进其在消毒领域的应用进程。

电光源科技发展趋势

本文对电光源发展的现状进行了分折,并对电光源发展趋势及应用前景进行了展望。

大有可为的典型光源

●LED固体光源在照明上的潜在应用。其特点是非常明显的,寿命长、光效高,在改进其结构后,LED的光电转换率可达到100Lm/W。蓝光LED和紫光LED的出现,已使白光LED成为可能,LED的光效正在直线上升,而可喜的是其价格正在直线下降,有人预言LED的光效可能高达300Lm/W。当然目前光通量还很低,价格还较高,作为照明光源,LED的光效必须大于50Lm/W。

建筑照明的新理念与新进展——绿色照明

本文研究了建筑照明的新理念——绿色照明的现实和环保意义及其设计方法 ,并介绍了照明科技的新进展和相应的环保措施。

深紫外光刻照明系统扩束单元设计

在曝光线宽为90nm的投影光刻机中,准分子激光光源发出的矩形截面光束,需要进行一维扩束,以获得光束整形单元所需的正方形截面分布。现有的这类扩束单元分别存在严重的相干散斑效应和严格的装调公差等不足。基于此,提出了多组元平行反射扩束镜组。通过求解各组元透射率值的线性方程组,得到若干种扩束单元结构,其中的四组元扩束单元每个组元只有一种透射率,有效降低了镀膜的工艺成本。分别从公差分析、系统透射率和出射光束均匀性等方面对各类扩束单元结构进行综合比较,并通过建模仿真,验证了设计的四组元扩束单元的散斑效应和装调公差灵敏度都明显降低,而且出射光束较均匀,有利于提高照明均匀性。