晶体生长炉的压力控制系统设计

本文旨在设计一种排气系统,可对压力容器、压力烧结炉等,将设备中影响合成材料的杂质排除,可提高设备使用寿命,更可在提高产品品质等方面有很大的改善作用,如SiC单晶生长、LED荧光粉的合成。