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某企业芯片制造的废水处理工艺设计研究
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作者 谢先思 《山西化工》 CAS 2024年第10期246-249,共4页
针对某企业芯片制造生产过程产生的氨氮废水、含氟废水、减薄硅片废水以及酸碱废水等进行研究,设计出合理的废水处理工艺,确保废水在处理之后能达到排放标准,为生产车间稳定生产提供有效保障。
关键词 半导体 氨氮废水 含氟废水 减薄划片废水 酸碱废水 处理工艺 排放标准
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