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微机电系统中凸台-弹性膜结构的力学建模与仿真
被引量:
1
1
作者
覃元臻
丁天怀
王鹏
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期606-609,共4页
为了测试和评定微构件的力学特性,建立了凸台弹性膜结构的力学模型。将凸台弹性膜结构化简为中心带有凸台的无限长薄板条结构,利用板壳理论得出了凸台的弹性模量、厚度和横截面积对弹性膜表面应力分布影响的解析计算公式,并通过有限元...
为了测试和评定微构件的力学特性,建立了凸台弹性膜结构的力学模型。将凸台弹性膜结构化简为中心带有凸台的无限长薄板条结构,利用板壳理论得出了凸台的弹性模量、厚度和横截面积对弹性膜表面应力分布影响的解析计算公式,并通过有限元分析对计算结果进行仿真验证。理论分析和仿真结果吻合。凸台弹性膜复合结构的等效弯曲刚度与凸台的弹性模量和厚度有关,当凸台的弹性模量和厚度增加时,凸台弹性膜复合结构的等效弯曲刚度增大,可以通过增加凸台的弹性模量和厚度来提高凸台弹性膜结构的强度。该研究为凸台弹性膜结构的优化设计和应用提供了计算方法和设计依据。
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关键词
微机电系统
凸台-弹性膜
力学特性
有限元仿真
原文传递
题名
微机电系统中凸台-弹性膜结构的力学建模与仿真
被引量:
1
1
作者
覃元臻
丁天怀
王鹏
机构
清华大学深圳研究生院
清华大学精密仪器与机械学系
出处
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第5期606-609,共4页
文摘
为了测试和评定微构件的力学特性,建立了凸台弹性膜结构的力学模型。将凸台弹性膜结构化简为中心带有凸台的无限长薄板条结构,利用板壳理论得出了凸台的弹性模量、厚度和横截面积对弹性膜表面应力分布影响的解析计算公式,并通过有限元分析对计算结果进行仿真验证。理论分析和仿真结果吻合。凸台弹性膜复合结构的等效弯曲刚度与凸台的弹性模量和厚度有关,当凸台的弹性模量和厚度增加时,凸台弹性膜复合结构的等效弯曲刚度增大,可以通过增加凸台的弹性模量和厚度来提高凸台弹性膜结构的强度。该研究为凸台弹性膜结构的优化设计和应用提供了计算方法和设计依据。
关键词
微机电系统
凸台-弹性膜
力学特性
有限元仿真
Keywords
microelectromechanical systems
mesa
-
diaphragm structures
mechanical properties
finite element simulation
分类号
TN403 [电子电信—微电子学与固体电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
微机电系统中凸台-弹性膜结构的力学建模与仿真
覃元臻
丁天怀
王鹏
《清华大学学报(自然科学版)》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005
1
原文传递
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