凸曲率衬底外延生长界面演化的晶体相场模拟

【目的】采用晶体相场模型模拟衬底分别为平面和凸面时外延层的生长过程。【方法】研究晶格错配度较大（ε＝0．10）且衬底倾角较小（2～5°）时，系统自由能和外延层总原子数的变化，分析衬底曲率和衬底倾角对系统自由能曲线和总原子数曲线的影响。【结果】研究表明：衬底曲率为平面时，系统自由能随着倾角的增加而增加，外延层总原子数也随着倾角的增加而增加；衬底曲率为凸面时，系统自由能随着倾角的增加而减少，外延层总原子数也随着倾角的增加而减少。【结论】通过微调衬底的倾角能改变系统的自由能和外延层总原子数。