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等离子体去钻污孔内凹蚀的表征 被引量：3
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作者 陈蓓 李志东 《印制电路信息》 2006年第11期30-34,共5页
介绍了一种等离子体去钻污,孔内凹蚀深度的表征方法,通过对FR-4普通厚径板(4:1)和高厚径板(17:1)去钻污的实验证明等离子体孔内凹蚀具有非常好的均匀性、一致性和可控性,同时利用这种表征方法可以达到有目的控制孔内凹蚀量的效果。
关键词 等离子体 去钻污 凹蚀量
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