凹非球面检测的双计算全息图设计及制作

基于全息补偿检验非球面的原理,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。该全息图由主全息和对准全息两部分组成,用于检测非球面的主全息位于基底的中心,而对准全息位于其边缘,用来精确定位主全息,从而消除离焦、偏心及倾斜所引入的误差。两部分全息同心是实现对主全息准确定位的前提,为此,提出了"一次曝光,两次刻蚀"的制作方法,即一次性将两部分图形在同一块掩膜版上制作出,曝光一次后,基底经两次刻蚀制作出具有两种不同相位深度的双计算全息图。最后给出了一个检测Φ140、F2抛物面镜的双计算全息设计实例,并将其检测结果与自准直检测结果比较,二者吻合良好,验证了该设计方法的正确性及制作工艺的可行性。

大相对孔径凹非球面镜的加工

过去一直采用平行光管来加工和检验大相对孔径四非球面的方法，存在许多不足之处，如加工精度不高和加工周期长等．现在我们采用补偿法，则可以在较短的时间内获得高精度的凹非球面，其精度可达λ／１０～λ／２０（ｒｍｓ）．经过长期的实践，已充分证明了这种方法是可行的．

一种离轴计算全息图在凹非球面检测中的应用

为了精确检测大口径非球面面型质量,将CGH作为补偿器应用于凹非球面的离轴全息检测系统中。根据计算全息图的离轴全息检测系统检测凹非球面的基本原理,分析了离轴CGH的计算、制作过程,实现了对口径为150 mm,近轴半径为1 499.7 mm,非球面系数为—1的凹非球面镜的检测。实验结果与轮廓仪检测结果吻合得很好。

超大口径凹非球面反射镜的动态干涉测量技术

为了克服超长光路造成的振动和大气扰动的影响,采用动态干涉测量结合补偿法进行超大口径凹非球面的精密检测.通过分析超大口径凹非球面反射镜检测的难点,采用动态干涉仪克服检测中振动和大气扰动,并利用Zemax光学设计软件,以口径3.5m的凹非球面反射镜为例设计了干涉补偿光路.误差分析结果表明,采用动态干涉仪和补偿法进行超大口径凹非球面反射镜面形检测,不仅可以克服振动和大气扰动的影响,还能达到λ/90以上的检测精度.

用双计算全息图检测凹非球面

为实现对凹非球面的高精度检测,提出并设计了一种二元纯相位型双计算全息图。设计的双计算全息图由主全息和对准全息两部分组成,分别用于检测非球面和精确定位主全息。介绍了双计算全息图的工作原理及其设计方法,并给出了一个检测Φ140、F/2抛物面反射镜的双计算全息图设计实例,实验得到的均方根(RMS)误差为0.062λ。通过分析对准全息的误差,推导出主全息的条纹位置畸变误差,最后计算出其综合误差为0.06λ。为验证实验结果的可靠性,将其与平面镜自准直检测结果(ERMS=0.062λ)比较,结果二者吻合良好。

非完整凹球面球径尺寸的准确测量方法

针对航空精密零件非完整凹球面球径尺寸的检测需求，提出了一种非完整凹球面球径尺寸的快速准确检测方法，设计了由钢球、数显高度尺、测量平板或机床工作台、计算机等组成的快速测量装置，开发了高效测量软件，描述了检测算法的推导过程及检测方法的实施过程。该检测方法巧妙地将传统的手工操作与计算机软件相结合，不但解决了高精度非完整凹球面球径尺寸的准确测量难题，而且简化了测量方法，提高了检测效率和精度。通过调整测量装置，能实现多种零件、多种球径尺寸的快速、准确测量。

光学测试 光学元件测试与设备

TQ171.65 2005021457 利用曲线计算全息图进行非球面检测=Aspheric surface testing with CGH on curved surface[刊,中]／卢振武(中科 院长春光机所应用光学国家重点实验室．吉林,长春 (130033)),刘华…//光学 精密工程．-2004,12(6).- 555-559 研究了利用曲面计算全息图进行非球面检测。分析 了曲面计算全息图的衍射特性,给出了曲面计算全息图与 传统检测方法相结合检测凹非球面和凸非球面的原理及 特点,并进行了具体设计。利用激光直接写入设备,在口 径为110 mm、曲率半径为504