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大相对孔径凹非球面镜的加工 被引量：2
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作者 孔祥蕾 郝沛明 丁厚月 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期50-55,共6页
过去一直采用平行光管来加工和检验大相对孔径四非球面的方法，存在许多不足之处，如加工精度不高和加工周期长等．现在我们采用补偿法，则可以在较短的时间内获得高精度的凹非球面，其精度可达λ／１０～λ／２０（ｒｍｓ）．经过长期... 过去一直采用平行光管来加工和检验大相对孔径四非球面的方法，存在许多不足之处，如加工精度不高和加工周期长等．现在我们采用补偿法，则可以在较短的时间内获得高精度的凹非球面，其精度可达λ／１０～λ／２０（ｒｍｓ）．经过长期的实践，已充分证明了这种方法是可行的． 展开更多
关键词 大相对孔径 凹非球面镜 光学元件
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