微光学元件面形的数字刀口检测技术

微列阵光学元件的质量评价是光学测量中的一项新课题。将传统的刀口检测技术进行数字化改进后,用于微光学元件的面形检测,具有实时、定量、精度高的特点,在光学元件质量评价中有着重要意义。介绍了应用数字刀口检测反射式微镜列阵面形质量的原理和实验装置,详细论述了对CCD采集的阴影图进行图像处理的关键步骤:(1)精确测定每个像素的暗场阈值所对应的刀口位置;(2)确定与像素相应的面形区域的倾角误差;(3)对面形进行重构。最后结合具体实验进行了分析和讨论,实验所测得的面形误差为nm量级。

一种检测光学元件面形的新方法

随着光学元件的广泛应用,对光学元件面形检测提出了更严格的要求。目前常用的检测光学元件面形的方法有数字刀口检测技术和干涉检测技术,比较这两种方法的检测原理及优缺点,提出了一种适用于工厂在线检测的三维检测方法——投影检测技术。用该方法的检测原理和关键技术对光学元件进行实验验证,证明了投影检测技术这一新方法具有实际应用价值。

用一个圆盘检测非球面的简单方法

作为刀口检测法的扩展，本文提出了一种用于被球面波照明的旋转对称非球面的非干涉检测法。当一个小圆盘被置于最接近球面的曲率中心附近时，只有被偏离理想球面的表面反射光线才不会被阻挡。由此可行到一幅具有暗区和亮区的被测表面的图象，其暗亮分界线与被测表面轮廓、圆盘直径和圆盘在对称轴上的位置有关。已用该法对一个抛物面进行了实验。

大直径平凸透镜面形的阴影检验法

本文分析了使用样板检测大口径平凸透镜的弊端,细述了用刀口仪检测大直径凸面透镜的相关计算方法和操作过程,并用实例加以证明。