CVD金刚石厚膜刀具刃口半径研磨的实验研究

CVD金刚石膜具有与单晶金刚石相近的力学性能,是一种理想的高精度刀具材料。研磨是制作CVD金刚石厚膜高精度刀具的关键环节之一。本文针对与刀具刃口半径紧密相关的研磨工艺进行了一些研究工作。实验结果表明：研磨盘端面跳动控制在10μm以内,动态不平衡度控制在0.3 g.mm/kg以内,选择1μm以下的研磨粉粒度,研磨速度控制在20-30 m/s范围,金刚石厚膜刀具刃口半径可达80 nm,圆弧轮廓精度可以控制在0.5μm左右;车削加工LY12外圆和端面,表面粗糙度可达Ra0.02μm,达到镜面效果,可以替代同等精度的单晶金刚石刀具。

单晶金刚石刀具精密检测与评价方法研究

针对单晶金刚石刀具刃口轮廓精度的精密检测方法进行研究,首次利用形位误差仪、通过测量刀具后刀面精度的方法来反映刀具刃口轮廓精度,并基于改进后的最小二乘圆拟合方法完成刀具精度评价。通过实验,实现了形状精度在0.05μm尺度的测量,验证了本方法的有效性。