期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
分子束外延方法生长p型氧化锌薄膜
被引量:
6
1
作者
矫淑杰
梁红伟
+5 位作者
吕有明
申德振
颜建锋
张振中
张吉英
范希武
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期460-462,共3页
用等离子辅助分子束外延 (P MBE)的方法 ,在蓝宝石c 平面上外延生长了p型氧化锌薄膜。在实验中采用高纯金属锌作为Zn源、NO作为O源和掺杂源 ,通过射频等离子体激活进行生长。在生长温度 30 0℃ ,NO气体流量为 1.0sccm ,射频功率为 30 0...
用等离子辅助分子束外延 (P MBE)的方法 ,在蓝宝石c 平面上外延生长了p型氧化锌薄膜。在实验中采用高纯金属锌作为Zn源、NO作为O源和掺杂源 ,通过射频等离子体激活进行生长。在生长温度 30 0℃ ,NO气体流量为 1.0sccm ,射频功率为 30 0W的条件下 ,获得了重复性很好的p型ZnO ,且载流子浓度最大可达 1.2× 10 19cm-3 ,迁移率为 0 .0 5 35cm2 ·V-1·s-1,电阻率为 9.5Ω·cm。
展开更多
关键词
氧化锌薄膜
P型掺杂
一氧化氮
射频等离子体
分了束外延
下载PDF
职称材料
题名
分子束外延方法生长p型氧化锌薄膜
被引量:
6
1
作者
矫淑杰
梁红伟
吕有明
申德振
颜建锋
张振中
张吉英
范希武
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第4期460-462,共3页
基金
国家自然科学重点基金 ( 60 3 3 60 2 0 )
国家"863"高技术项目
+4 种基金
新材料领域 ( 2 0 0 1AA3 1112 0 )
中国科学院二期创新项目
国家自然科学基金 ( 60 1760 0 3
60 2 780 3 1
60 3 760 0 9)资助项目
文摘
用等离子辅助分子束外延 (P MBE)的方法 ,在蓝宝石c 平面上外延生长了p型氧化锌薄膜。在实验中采用高纯金属锌作为Zn源、NO作为O源和掺杂源 ,通过射频等离子体激活进行生长。在生长温度 30 0℃ ,NO气体流量为 1.0sccm ,射频功率为 30 0W的条件下 ,获得了重复性很好的p型ZnO ,且载流子浓度最大可达 1.2× 10 19cm-3 ,迁移率为 0 .0 5 35cm2 ·V-1·s-1,电阻率为 9.5Ω·cm。
关键词
氧化锌薄膜
P型掺杂
一氧化氮
射频等离子体
分了束外延
Keywords
ZnO thin film
p-type doping
NO
r.f. plasma
molecular beam epitaxy
分类号
O472.3 [理学—半导体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
分子束外延方法生长p型氧化锌薄膜
矫淑杰
梁红伟
吕有明
申德振
颜建锋
张振中
张吉英
范希武
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
6
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部