纳米计量与分子坐标测量机系统设计(1)

从纳米计量学与纳米计量测试的基本概念和基本要求出发，参考有关国外文献，编译了这篇文章，介绍纳米计量学和分子坐标测量机的研究成果。对从事这方面研究的科研人员具有一定的参考价值。文章中首先讨论纳米计量学的概念及其测量不确定度标准，实现纳米计量的手段─—建立分子坐标测量机；叙述了分子测量机设计概念和原则；关于分子测量机机械设计，主要讨论了隔离机械振动、热源、声振动等，二维导轨结构，探针安装及结构材料选择等；计量学系统中的计量基准、激光外差干涉仪及条纹细分；最后介绍了分子测量机测量精度的验证与标定。