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原子层沉积技术调控分子筛基催化剂研究进展
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作者 魏丽 王树元 +3 位作者 闫梦霞 朱地 陶智超 徐丹 《燃料化学学报(中英文)》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第2期285-292,共8页
分子筛基催化剂在多相催化研究领域具有重要的应用,但调控活性中心粒子的结构及其在分子筛上的空间位置仍比较困难,是科研界和工业界共同面临的巨大挑战。原子层沉积(ALD)是一种先进的薄膜沉积技术,利用其自限制生长优势,可在原子级别... 分子筛基催化剂在多相催化研究领域具有重要的应用,但调控活性中心粒子的结构及其在分子筛上的空间位置仍比较困难,是科研界和工业界共同面临的巨大挑战。原子层沉积(ALD)是一种先进的薄膜沉积技术,利用其自限制生长优势,可在原子级别实现对金属粒子生长过程的精准调控。本工作综述了ALD技术在制备分子筛基催化剂方面的应用,主要包括利用ALD技术控制活性位点在分子筛上的生长落位、修饰分子筛骨架结构以及选择性沉积膜调变分子筛表面结构。利用ALD技术设计和调控活性组分结构促进了分子筛基催化剂的发展,但由于分子筛孔道结构复杂且存在缺陷位,因此,ALD技术在分子筛基催化剂的设计调控及大规模应用方面仍具有挑战性,也是今后研究工作的重点。 展开更多
关键词 分子 原子沉积 催化剂 调控 选择性沉积
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济阳坳陷古近系湖相沉积的分子地层学 被引量:5
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作者 王广利 王铁冠 张林晔 《地球科学(中国地质大学学报)》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期371-376,共6页
渐新世是济阳坳陷湖盆发育和烃源层形成的重要时期.运用分子地层学的理论和方法,探讨了它在含油气盆地不同领域的应用.结果表明,分子地层学研究有助于确定湖相烃源岩中大量分布的无定形有机质的来源,揭示古沉积环境重建中微生物(包括细... 渐新世是济阳坳陷湖盆发育和烃源层形成的重要时期.运用分子地层学的理论和方法,探讨了它在含油气盆地不同领域的应用.结果表明,分子地层学研究有助于确定湖相烃源岩中大量分布的无定形有机质的来源,揭示古沉积环境重建中微生物(包括细菌、古细菌和某些藻类)的存在和类型,进行沉积相的精细划分以及层序地层格架的建立和完善.分子地层学在石油地质研究中可以发挥独特的作用,具有良好的应用前景. 展开更多
关键词 分子 分子化石 微生物 沉积环境 有机相 序地
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高分子辅助化学溶液沉积制备涂层导体CeO_2缓冲层
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作者 李果 蒲明华 +8 位作者 孙瑞萍 王文涛 张欣 武伟 雷鸣 张红 杨烨 程翠华 赵勇 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第A01期411-414,共4页
分别采用两种高分子辅助化学溶液沉积方法,在双轴织构的NiW(200)合金基底上制备了涂层导体CeO2缓冲层。结果表明,制得的CeO2缓冲层双轴织构良好,表面无裂纹。比较两种不同的高分子辅助方法,利用聚甲基丙烯酸辅助制得的CeO2表面平整,均... 分别采用两种高分子辅助化学溶液沉积方法,在双轴织构的NiW(200)合金基底上制备了涂层导体CeO2缓冲层。结果表明,制得的CeO2缓冲层双轴织构良好,表面无裂纹。比较两种不同的高分子辅助方法,利用聚甲基丙烯酸辅助制得的CeO2表面平整,均方根粗糙度在1μm×1μm的范围内仅为2nm,粗糙度远小于利用聚乙烯醇辅助沉积而得的CeO2缓冲层。 展开更多
关键词 CeO2缓冲 分子辅助 化学溶液沉积
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高分子辅助化学溶液沉积法制备高温超导涂层导体BaZrO3(BZO)缓冲层的研究
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作者 张欣 王文涛 +4 位作者 张敏 张勇 张酣 雷鸣 赵勇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第14期1854-1857,共4页
采用高分子辅助化学溶液沉积法,在Sr-TiO3(STO)单晶基底上制得了一系列高温超导涂层导体BaZrO3(BZO)缓冲层。研究结果表明,不同高分子辅助沉积的BZO缓冲层其形貌和织构差异较大。利用聚乙烯醇缩丁醛(PVB)辅助制得BZO缓冲层表面更加平整... 采用高分子辅助化学溶液沉积法,在Sr-TiO3(STO)单晶基底上制得了一系列高温超导涂层导体BaZrO3(BZO)缓冲层。研究结果表明,不同高分子辅助沉积的BZO缓冲层其形貌和织构差异较大。利用聚乙烯醇缩丁醛(PVB)辅助制得BZO缓冲层表面更加平整致密,无裂纹存在,并具有优异的双轴织构。通过台阶仪测试该BZO缓冲层的膜厚,结果显示膜厚超过250nm。 展开更多
关键词 分子辅助 化学溶液沉积 导体 BaZrO3缓冲
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分子层沉积纳米薄膜的现状和发展
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作者 陈谦 杨丽珍 +2 位作者 刘忠伟 张海宝 陈强 《真空》 CAS 2021年第5期26-31,共6页
随着微电子技术、锂离子电池和太阳能电池等行业的发展,人们对聚合物薄膜,尤其是纳米级聚合物薄膜的要求也越来越高。在传统的沉积方法不能满足要求的条件下,找到新的沉积聚合物的方法势在必行。分子层沉积(MLD)是一种类似于原子层沉积... 随着微电子技术、锂离子电池和太阳能电池等行业的发展,人们对聚合物薄膜,尤其是纳米级聚合物薄膜的要求也越来越高。在传统的沉积方法不能满足要求的条件下,找到新的沉积聚合物的方法势在必行。分子层沉积(MLD)是一种类似于原子层沉积的技术,它可以精确控制聚合物膜的厚度、组成、形貌和保形性。因此,MLD可以成为制备聚合物薄膜的一种新方法。本文综述了分子层沉积的原理和方法,以及在薄膜领域的发展和应用,最后给出了分子层沉积技术未来发展所面对的挑战和展望。 展开更多
关键词 分子沉积技术 原理 薄膜 应用
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原子层沉积技术在含能材料表面修饰中的应用研究进展 被引量:5
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作者 秦利军 龚婷 +4 位作者 闫宁 李建国 惠龙飞 郝海霞 冯昊 《火炸药学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第5期425-431,I0001,共8页
介绍了原子层沉积技术的原理和特点,并对比传统物理及化学气相沉积薄膜制备工艺,总结了原子层沉积技术在含能材料合成及表面修饰改性方面所具有的薄膜厚度精确可控、工作温度低和大面积及三维均匀性方面的优势。综述了原子层沉积技术在... 介绍了原子层沉积技术的原理和特点,并对比传统物理及化学气相沉积薄膜制备工艺,总结了原子层沉积技术在含能材料合成及表面修饰改性方面所具有的薄膜厚度精确可控、工作温度低和大面积及三维均匀性方面的优势。综述了原子层沉积技术在亚稳态分子间复合物合成,降低金属粉和炸药感度,以及提高铝粉、氢化铝和ADN稳定性等方面的研究进展。评述了原子层沉积技术在含能材料精确合成及表面修饰中的主要作用及未来发展方向。附参考文献29篇。 展开更多
关键词 应用化学 原子沉积(ALD) 分子沉积(mld) 含能材料 表面性质 表面修饰
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磷脂酰乙醇胺双分子层膜低能电子散射的Monte Carlo模拟 被引量:1
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作者 沈海军 《膜科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2007年第2期39-44,共6页
基于“亲水层-疏水层-亲水层”模型,采用Monte Carlo方法模拟了低能电子束(能量E0≤900 eV)作用下,磷脂酰乙醇胺(PE)双分子层膜的电子散射,研究了PE膜散射电子(SEs)、背散射电子(BSEs)的深度与表面分布,BSEs、透射电子(TEs)的能量分布,... 基于“亲水层-疏水层-亲水层”模型,采用Monte Carlo方法模拟了低能电子束(能量E0≤900 eV)作用下,磷脂酰乙醇胺(PE)双分子层膜的电子散射,研究了PE膜散射电子(SEs)、背散射电子(BSEs)的深度与表面分布,BSEs、透射电子(TEs)的能量分布,以及SEs的能量沉积.研究表明,入射电子束能量E0越小,PE膜的TEs就越少,BSEs就越多,被PE膜吸收的电子就越多,BSEs图像的分辨率就越高;入射电子束能量E0越小,PE膜能量接近E0的BSEs就越多,能量接近E0的TEs就越少;PE膜亲水层的背散射能力明显高于疏水层;随着E0的增大,SEs在PE膜中的能量沉积密度增大,但沉积范围先增大,后减小. 展开更多
关键词 MONTE CARLO方法 磷脂酰乙醇胺 分子 能量沉积
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化学溶液沉积制备涂层导体Eu_(0.3)Ce_(0.7)O_(1.85-x)单一缓冲层
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作者 孙瑞萍 李果 +5 位作者 蒲明华 王文涛 张欣 武伟 杨烨 赵勇 《稀有金属材料与工程》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2009年第3期523-526,共4页
采用高分子辅助化学溶液沉积(PACSD)方法,在双轴织构的NiW(200)合金基底上沉积了厚度大于160nm的Eu0.3Ce0.7O1.85-x(ECO)单一缓冲层。制得的ECO缓冲层双轴织构良好,表面平整、无裂纹。同时,Eu的掺杂提高了CeO2单一缓冲层薄膜的临界厚度... 采用高分子辅助化学溶液沉积(PACSD)方法,在双轴织构的NiW(200)合金基底上沉积了厚度大于160nm的Eu0.3Ce0.7O1.85-x(ECO)单一缓冲层。制得的ECO缓冲层双轴织构良好,表面平整、无裂纹。同时,Eu的掺杂提高了CeO2单一缓冲层薄膜的临界厚度。在沉积了ECO缓冲层的NiW基带上外延生长的YBCO薄膜,超导零电阻转变温度Tc0=86K,临界电流密度达到Jc(0T,77K)=0.4MA/cm2。本研究提供了一种操作简单、成本低廉、性能优良的制备涂层导体单一缓冲层的方法。 展开更多
关键词 EU掺杂 CeO2单一缓冲 分子辅助化学溶液沉积(PACSD)
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盐类和氧化物在载体上自发单层分散研究新进展 被引量:38
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作者 王春明 赵璧英 谢有畅 《催化学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2003年第6期475-482,共8页
盐类和氧化物在载体上自发单层分散的现象和原理自被发现以来在国内外得到了广泛认同 ,国内外这方面的工作越来越多 .我们从国内外同行近年发表的上百篇有关论文中 ,选择一部分内容加上我们的部分工作做一个简单的综述 。
关键词 盐类 金属氧化物 载体 自发单分散 阀值 热分散 沉积 分子 催化剂
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湘西北张家界地区早寒武世牛蹄塘组黑色岩系镍钼矿层生物标志物的特征 被引量:15
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作者 黄燕 林丽 +3 位作者 杨永军 马莉燕 李德亮 庞艳春 《地质通报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期126-133,共8页
以湖南张家界天门山地区下寒武统牛蹄塘组底部的黑色页岩镍钼矿层为研究对象,对其进行了生物标志化合物特征的分析。发现该矿层的正构烷烃、类异戊二烯烃、萜类化合物和甾类化合物具有以下特征:①正构烷烃OEP(奇偶优势)接近1.0,无明... 以湖南张家界天门山地区下寒武统牛蹄塘组底部的黑色页岩镍钼矿层为研究对象,对其进行了生物标志化合物特征的分析。发现该矿层的正构烷烃、类异戊二烯烃、萜类化合物和甾类化合物具有以下特征:①正构烷烃OEP(奇偶优势)接近1.0,无明显奇偶优势;(nC21+nC22)/(nC28+nC29)比值为0.7~10.4,平均为6.16,显示轻烃组分占绝对优势;样品富含姥鲛烷(Pr)和植烷(Ph),比值平均为0.26,具有植烷优势。②萜烷相对丰度三环萜烷〉五环三萜烷〉四环萜烷;三环萜烷中C21、C23、C24呈倒V字形分布;C24四环萜与相邻C26三环萜比值为0.50;Ts/(Tm+Ts)比值在0.40~0.43之间,平均为0.42;γ-蜡烷指数介于0.10~0.17之间,平均值为0.13。③规则甾烷呈不对称的V字形分布,表现为C27〉C29〉C28的分布特征;C27规则甾烷/C29规则甾烷平均比值为1.46(〉1);检测出一定丰度的4-甲基甾烷。这些特征共同指示了张家界地区早寒武世黑色岩系形成于菌藻类(蓝绿藻、甲藻等)和低等浮游生物大量繁殖的浅海还原环境。 展开更多
关键词 分子古生物学 生物标志化合物 牛蹄塘组 镍钼矿 沉积环境 湖南
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用于多结叠层太阳电池的GaInAsN材料研究进展 被引量:3
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作者 张启明 张恒 +2 位作者 刘如彬 唐悦 孙强 《电源技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2321-2324,共4页
1.0eV的GaInAsN材料是实现与Ge或GaAs衬底晶格匹配的高效多结叠层太阳电池的理想材料。但是,目前制备高质量的GaInAsN材料较为困难,使得相应电池性能低下,未能达到预想的效果。介绍了几种生长GaInAsN材料的外延工艺,探讨了各种外延方法... 1.0eV的GaInAsN材料是实现与Ge或GaAs衬底晶格匹配的高效多结叠层太阳电池的理想材料。但是,目前制备高质量的GaInAsN材料较为困难,使得相应电池性能低下,未能达到预想的效果。介绍了几种生长GaInAsN材料的外延工艺,探讨了各种外延方法导致材料生长困难的原因和相应的改进工艺,并在总结了GaInAsN太阳电池研究现状的基础上对其未来发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 GA In As N 多节叠太阳电池 金属有机气相沉积 分子束外延 化学束外延
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掺杂有纳米铜微粒聚电解质多层膜的摩擦磨损行为研究 被引量:1
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作者 杨广彬 耿震岗 +2 位作者 麻洪霞 吴志申 张平余 《润滑与密封》 CAS CSCD 北大核心 2007年第11期38-40,85,共4页
用快速高效的旋涂辅助分子沉积技术在旋转的基底上滴加相反电荷的聚二烯丙基二甲基氯化铵和聚对苯乙烯磺酸钠制备出初始聚电解质多层膜(PEMs),在PEMs上吸附Cu2+然后于硼氢化钠溶液中还原,通过9次吸附-还原循环,在PEMs内原位生成Cu纳米微... 用快速高效的旋涂辅助分子沉积技术在旋转的基底上滴加相反电荷的聚二烯丙基二甲基氯化铵和聚对苯乙烯磺酸钠制备出初始聚电解质多层膜(PEMs),在PEMs上吸附Cu2+然后于硼氢化钠溶液中还原,通过9次吸附-还原循环,在PEMs内原位生成Cu纳米微粒,构成Cu纳米微粒掺杂的聚电解质多层膜。用UMT-2摩擦仪考察了薄膜的摩擦磨损行为,发现Cu纳米微粒能显著提高PEMs的耐磨寿命,这可归因于PEMs内Cu纳米微粒的承载能力和其微滚动效应。 展开更多
关键词 Cu纳米微粒 聚电解质多 旋涂辅助分子沉积 摩擦磨损
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BIT/PLZT/BIT多层铁电薄膜结构设计及制备的实验研究
13
作者 易图林 《物理实验》 2006年第1期17-20,共4页
为了有效阻止锆钛酸铅镧(PLZT)与半导体界面发生反应和互扩散,根据锆钛酸铅镧和钛酸铋(B IT)各自的铁电性能,提出了一种新的设计思想———多层铁电薄膜.采用脉冲准分子激光淀积(PLD)方法制备了B IT/PLZT/B IT多层铁电薄膜.采用Sawyer-T... 为了有效阻止锆钛酸铅镧(PLZT)与半导体界面发生反应和互扩散,根据锆钛酸铅镧和钛酸铋(B IT)各自的铁电性能,提出了一种新的设计思想———多层铁电薄膜.采用脉冲准分子激光淀积(PLD)方法制备了B IT/PLZT/B IT多层铁电薄膜.采用Sawyer-Tower电路测量,其剩余极化强度Pr=34μC/cm2,矫顽场Ec=40 kV/cm.这种结构吸收了锆钛酸铅镧和钛酸铋的优点,提高了铁电薄膜的铁电性能. 展开更多
关键词 铁电薄膜 结构设计 脉冲准分子激光沉积
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BIT/PLZT/BIT多层铁电薄膜的I-V特性研究
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作者 易图林 张颖 谢艳丁 《空军雷达学院学报》 2006年第4期279-281,284,共4页
为了有效阻止锆钛酸铅镧(PLZT)与半导体界面发生反应和互扩散,根据锆钛酸铅镧和钛酸铋(BIT)各自的铁电性能,采用脉冲准分子激光淀积(PLD)方法制备了BIT/PLZT/BIT多层结构铁电薄膜,测量和分析了它的I-V特性曲线.结果表明,这种结构吸收了... 为了有效阻止锆钛酸铅镧(PLZT)与半导体界面发生反应和互扩散,根据锆钛酸铅镧和钛酸铋(BIT)各自的铁电性能,采用脉冲准分子激光淀积(PLD)方法制备了BIT/PLZT/BIT多层结构铁电薄膜,测量和分析了它的I-V特性曲线.结果表明,这种结构吸收了锆钛酸铅镧和钛酸铋的优点,提高了铁电薄膜的铁电性能,为进一步研究薄膜的存储特性提供了基础. 展开更多
关键词 BIT/PLZT/B1T多铁电薄膜 铁电性能 电流-电压特性 脉冲准分子激光沉积
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气相沉积技术在原子制造领域的发展与应用 被引量:5
15
作者 郭秦敏 秦志辉 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第2期193-207,共15页
随着未来信息器件朝着更小尺寸、更低功耗和更高性能方向的发展,构建器件的材料尺寸将进一步缩小.传统的"自上而下"技术在信息器件发展到纳米量级时遇到瓶颈,而气相沉积技术由于其能在原子尺度构筑纳米结构引起极大关注,被认... 随着未来信息器件朝着更小尺寸、更低功耗和更高性能方向的发展,构建器件的材料尺寸将进一步缩小.传统的"自上而下"技术在信息器件发展到纳米量级时遇到瓶颈,而气相沉积技术由于其能在原子尺度构筑纳米结构引起极大关注,被认为是最有潜力突破现有制造极限进而在原子尺度构造、搭建物质形态的"自下而上"方法.本文重点讨论适用于低维材料的原子尺度制造的分子束外延技术和原子层沉积/刻蚀技术.简要介绍相关技术中蕴含的科学原理及其在纳米信息器件加工和制造领域的应用,并探讨如何在原子尺度实现对低维功能材料厚度和微观形貌的精密控制. 展开更多
关键词 气相沉积 原子制造 分子束外延 原子沉积
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Al2O3@5A沸石材料制备及其空间分子污染吸附性能 被引量:2
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作者 宫向华 祖丽颉 +2 位作者 吴金珠 李杨 吴晓宏 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第12期14-22,共9页
目的采用原子层沉积技术(ALD)制备了Al2O3@5A沸石分子筛复合材料,以提高材料的综合应用性能。方法采用三甲基铝为铝源,水为氧源,氮气为载气,工艺压力为26.6Pa,沉积温度为150℃,循环周期为300,在5A沸石分子筛球体表面生长膜厚约为30 nm的... 目的采用原子层沉积技术(ALD)制备了Al2O3@5A沸石分子筛复合材料,以提高材料的综合应用性能。方法采用三甲基铝为铝源,水为氧源,氮气为载气,工艺压力为26.6Pa,沉积温度为150℃,循环周期为300,在5A沸石分子筛球体表面生长膜厚约为30 nm的Al2O3非晶薄膜,探究Al2O3薄膜对5A沸石分子筛的机械强度和吸附性能的影响。结果Al2O3薄膜均匀牢度地包覆在5A沸石分子筛表面,有效抑制了分子筛的破裂掉粉。非晶态Al2O3薄膜呈现均匀粗糙的纳米岛状形貌,具有优异的疏水性。此外,Al2O3薄膜提供更多的活性铝,有利于与有机污染物分子发生化学吸附。结论采用ALD技术制备了形貌均匀、结构致密的Al2O3非晶薄膜,实现了对基底材料5A沸石分子筛的表面改性,不但改善了材料的机械强度和使用稳定性,而且提高了材料对有机污染物的吸附能力。 展开更多
关键词 沸石 三氧化二铝 原子沉积技术 空间分子污染 吸附
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利用分子水平的复合方法研制杂混材料
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作者 严舫 黄永奎 《化学进展》 SCIE CAS CSCD 1989年第1期26-37,共12页
一、杂混材料 1.杂混材料与一般材料的互别 过去是将金属、无机和有机材料三大材料或者单独地加以利用,或者宏观地进行复合之后,予以使用。例如,钢筋和水泥,可单独利用,也可将水泥与大粒沙子混合制成混凝土再加上钢筋,制成钢筋混凝土,... 一、杂混材料 1.杂混材料与一般材料的互别 过去是将金属、无机和有机材料三大材料或者单独地加以利用,或者宏观地进行复合之后,予以使用。例如,钢筋和水泥,可单独利用,也可将水泥与大粒沙子混合制成混凝土再加上钢筋,制成钢筋混凝土,成为极其良好的建筑材料。此外。 展开更多
关键词 复合方法 原子 分子纤维 超薄膜 有机金属化合物 结构材料 有机材料 气相沉积 聚集状态 晶体取向
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提高葡Ⅰ组相对差油层采收率的新方法
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作者 佘庆东 《中外科技情报》 2005年第17期272-272,共1页
大庆油田萨中开发区部分区块葡Ⅰ组注聚已接近尾声,采收率达到45%~50%。依据油藏精细描述取得的成果,在聚驱阶段,按照沉积微相、渗透率、厚度、规模等静态指标对油层进行了重新分类。通过对大量生产井监测资料和检查井的检测资料... 大庆油田萨中开发区部分区块葡Ⅰ组注聚已接近尾声,采收率达到45%~50%。依据油藏精细描述取得的成果,在聚驱阶段,按照沉积微相、渗透率、厚度、规模等静态指标对油层进行了重新分类。通过对大量生产井监测资料和检查井的检测资料全面研究,结果表明,葡Ⅰ组相对差油层(按照油层分类方法,属于Ⅱ、Ⅲ、Ⅳ类油层)与高渗透层之间存在巨大差异,加上不适应250米大井距,造成了超高分子聚合物注入时驱油效果很差。 展开更多
关键词 采收率 相对差 油藏精细描述 分子聚合物 大庆油田 沉积微相 检测资料 监测资料 分类方法 驱油效果 开发区 渗透率 新分类 检查井 生产井 渗透 注聚 区块 井距
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前沿科技看“浙”里
19
《今日科技》 2023年第9期54-55,共2页
关注浙江大学最新研究成果问世:药物提纯无需蒸馏一张薄膜即可实现常温过滤据悉,浙江大学高分子科学与工程学系相关团队运用分子层沉积法,制备出可用于有机溶剂纳滤的超薄聚酰胺纳米微孔膜,使药物提纯不再依赖于加热蒸馏过程。实验显示... 关注浙江大学最新研究成果问世:药物提纯无需蒸馏一张薄膜即可实现常温过滤据悉,浙江大学高分子科学与工程学系相关团队运用分子层沉积法,制备出可用于有机溶剂纳滤的超薄聚酰胺纳米微孔膜,使药物提纯不再依赖于加热蒸馏过程。实验显示,团队制备的聚酰胺膜表面光滑,厚度在10~35纳米范围内,线性可控、结构均一完整且应用稳定,对有机溶剂中目标物的过滤效率在90%以上。相关研究论文近日在线发表于《美国化学会·应用材料与界面》。 展开更多
关键词 有机溶剂 过滤效率 沉积 前沿科技 蒸馏过程 分子 纳滤 最新研究成果
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F原子与Si表面相互作用的动力学研究 被引量:6
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作者 赵成利 邓朝勇 +6 位作者 孙伟中 吕晓丹 陈峰 贺平逆 张浚源 刘玉杰 苟富均 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第1期53-58,共6页
采用分子动力学方法模拟了F原子与Si表面相互作用,F原子入射能量分别为0.3,1,3,5,7和9 eV。在模拟过程中,F原子的沉积率与Si表面悬键密度有关,而Si原子的刻蚀率与表面晶格结构破坏程度有关,随着Si原子刻蚀率的增加,样品高度降低。在不... 采用分子动力学方法模拟了F原子与Si表面相互作用,F原子入射能量分别为0.3,1,3,5,7和9 eV。在模拟过程中,F原子的沉积率与Si表面悬键密度有关,而Si原子的刻蚀率与表面晶格结构破坏程度有关,随着Si原子刻蚀率的增加,样品高度降低。在不同能量F原子作用下,样品Si表面形成Si-F反应层。Si-F反应层的厚度随入射能量的增加而增加,其组成成分对产物有至关重要的影响。 展开更多
关键词 分子动力学 沉积 刻蚀 Si-F反应
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