低温氢等离子体中氢原子分子激发态分析

采用发射光谱法对螺旋波低温氢等离子体进行诊断,运用Boltzmann图解法分析氢原子激发态,氢分子振动、转动激发态。结果表明:随着输入射频功率增加,氢等离子体发射光谱强度增强,氢原子激发温度升高,氢分子振动激发温度降低,氢分子转动温度降低;随着气压增大,氢原子激发温度降低,氢分子振动激发温度降低,氢分子转动温度升高。