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题名氮气介质阻挡微放电中活性物种的诊断研究
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作者
刘鑫
常晓玲
徐勇
张晓光
杨学锋
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机构
光电系统信息控制技术国家级重点实验室
大连理工大学等离子体物理化学实验室
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出处
《大连民族学院学报》
CAS
2010年第1期44-47,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(10475015)
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文摘
利用三极差分抽气分子束质谱装置在亚大气压介质阻挡放电产生的氮等离子体中观测到,粒子流中的主要离子成分是N+,N2+,并且分别研究了放电气压、放电电压、放电重复频率对氮等离子体中N+与N2+活性物种离子流强度的影响。结果显示,N+的离子流强明显高于N2+,主要是由于产生的N+和N2+在电场作用下向阴极板运动时,N2+会与中性粒子及电子碰撞发生反应而进一步生成了N+,并且N+与N2+流强随放电电压、放电频率的增大而增大,N+,N2+的相对浓度几乎不变,而随N2压力变化N+与N2+流强会出现一个极值。进而对该现象的产生、检测和形成机制进行了研究。
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关键词
介质阻挡放电
丝状放电
分子束质谱诊断
N+
N2+
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Keywords
DBD
filamentary discharge
molecular beam mass spectrometry
N ^+
N2^+
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分类号
O536
[理学—等离子体物理]
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