分子泵用小型电机试验平台的设计

为便于测试研制分子泵用小型电机的特性,设计一套专用的试验平台。因为被测电机运行转速高(>20000r/min),且需置于真空环境(<100Pa),设计了高精度的定位基准、模拟实际运行环境的小型真空室、模拟电机实际负载惯量的惯量盘以及其他便于试验的装置。已经使用该试验平台开展了针对研制电机的性能测试。