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真空校准室内分子流场分布的理论分析与计算
1
作者
龚伟
张涤新
+2 位作者
成永军
冯焱
赵澜
《真空与低温》
2010年第1期30-36,共7页
在动态流量校准系统中,气体分子流场分布非均匀性是造成被校规测量值出现偏差的原因,也是校准装置系统误差的来源。介绍校准室内分子流场分布的理论计算方法,这种方法不仅能分析分子流场分布的非均匀性,还能够直接计算被校规室内的分子...
在动态流量校准系统中,气体分子流场分布非均匀性是造成被校规测量值出现偏差的原因,也是校准装置系统误差的来源。介绍校准室内分子流场分布的理论计算方法,这种方法不仅能分析分子流场分布的非均匀性,还能够直接计算被校规室内的分子密度,给出规室内分子密度与进入校准室气体流量之间的函数关系。计算时考虑了校准室的几何结构,最大限度的减小了校准室结构设计对分子流场分布带来的影响。对返流比β和有效抽速Seff的计算方法,为动态流量校准装置系统参数的蒙特卡罗模拟提供了理论依据。
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关键词
动态流量法
分子流场分布
物理模型
蒙特卡罗模拟
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职称材料
题名
真空校准室内分子流场分布的理论分析与计算
1
作者
龚伟
张涤新
成永军
冯焱
赵澜
机构
兰州物理研究所
出处
《真空与低温》
2010年第1期30-36,共7页
文摘
在动态流量校准系统中,气体分子流场分布非均匀性是造成被校规测量值出现偏差的原因,也是校准装置系统误差的来源。介绍校准室内分子流场分布的理论计算方法,这种方法不仅能分析分子流场分布的非均匀性,还能够直接计算被校规室内的分子密度,给出规室内分子密度与进入校准室气体流量之间的函数关系。计算时考虑了校准室的几何结构,最大限度的减小了校准室结构设计对分子流场分布带来的影响。对返流比β和有效抽速Seff的计算方法,为动态流量校准装置系统参数的蒙特卡罗模拟提供了理论依据。
关键词
动态流量法
分子流场分布
物理模型
蒙特卡罗模拟
Keywords
continuous gas expansion
molecule flow distribution
physical model
Monte Carlo simulation
分类号
TB771 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
真空校准室内分子流场分布的理论分析与计算
龚伟
张涤新
成永军
冯焱
赵澜
《真空与低温》
2010
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