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一种(10^(-5)-10^(-16))Pa·m^(3)/s标准气体流量计的设计
被引量:
6
1
作者
卢耀文
董云宁
+8 位作者
杨传森
徐宇杰
闫睿
王汐月
陈俊儒
魏萌萌
郝慧萍
齐京
查良镇
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期422-426,共5页
本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流...
本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流导;采用电容薄膜真空计作为参考标准测量压力,将直接供气、膨胀衰减压力及标准混合气体三种方法集成在一起,为流导元件入口获得(10^(3)-10^(-6)) Pa的示漏He气分压力;采用10^(-8)m^(3)/s和10^(-10)m^(3)/s量级的两套分子流导元件,结合流导元件入口压力获得了(10^(-5)-10^(-16)) Pa·m^(3)/s的标准气体流量,设计的标准气体流量计估计合成标准不确定度为1.2%-2.8%。
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关键词
超灵敏度检漏仪
固定
流导
法
分子流导
标准气体流量计
下载PDF
职称材料
题名
一种(10^(-5)-10^(-16))Pa·m^(3)/s标准气体流量计的设计
被引量:
6
1
作者
卢耀文
董云宁
杨传森
徐宇杰
闫睿
王汐月
陈俊儒
魏萌萌
郝慧萍
齐京
查良镇
机构
北京市真空计量检测工程技术研究中心
北京东方计量测试研究所
清华大学
出处
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期422-426,共5页
文摘
本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流导;采用电容薄膜真空计作为参考标准测量压力,将直接供气、膨胀衰减压力及标准混合气体三种方法集成在一起,为流导元件入口获得(10^(3)-10^(-6)) Pa的示漏He气分压力;采用10^(-8)m^(3)/s和10^(-10)m^(3)/s量级的两套分子流导元件,结合流导元件入口压力获得了(10^(-5)-10^(-16)) Pa·m^(3)/s的标准气体流量,设计的标准气体流量计估计合成标准不确定度为1.2%-2.8%。
关键词
超灵敏度检漏仪
固定
流导
法
分子流导
标准气体流量计
Keywords
Ultra-sensitive leak detector
Constant conductance method
Molecular flow conductance
Standard gas flowmeter
分类号
TB77 [一般工业技术—真空技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种(10^(-5)-10^(-16))Pa·m^(3)/s标准气体流量计的设计
卢耀文
董云宁
杨传森
徐宇杰
闫睿
王汐月
陈俊儒
魏萌萌
郝慧萍
齐京
查良镇
《真空科学与技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2021
6
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