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一种新型分子玻璃光致抗蚀剂材料及其应用 被引量:1
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作者 徐娜 宋金卓 赵飞 《吉林化工学院学报》 CAS 2013年第7期11-14,共4页
分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过含大的脂环基团的一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了一种新颖的酯缩醛结构分子玻璃体.该化合物具有单分散性且是无定形的,可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性.在室温或稍高温度下,... 分子玻璃体是在室温下为无定形态的低分子量材料.通过含大的脂环基团的一元羧酸和二乙烯基醚的反应,得到了一种新颖的酯缩醛结构分子玻璃体.该化合物具有单分散性且是无定形的,可溶于常用的溶剂,具有高的热稳定性.在室温或稍高温度下,该酯缩醛化合物可以被光产酸剂产生的强酸很快分解,从而易溶于稀的碱溶液.初步测试了它们与光产酸剂组成正型光致抗蚀剂体系的成像性质,得到了分辨率为0.5μm的清晰的图像. 展开更多
关键词 分子玻璃体 正型光致抗蚀剂 酯缩醛化合物 光产酸剂
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分子玻璃光致抗蚀剂研究进展
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作者 徐娜 刘玉芹 +2 位作者 王金玲 胡勇 孟磊 《吉林化工学院学报》 CAS 2012年第9期12-16,共5页
随着半导体芯片集成度的快速提高,光刻技术的分辨率正由90、65和45 nm迈向更先进的32 nm或以下.而分子玻璃体抗蚀剂可能是下一代光刻技术的最好选择.本文阐述了分子玻璃光致抗蚀剂的设计思想,并介绍了几种性能良好的分子玻璃光致抗蚀剂.
关键词 光致抗蚀剂 分子玻璃体 结构
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氨基酸镁、钙、锌络合物的制备及性能表征 被引量:5
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作者 那仁格日乐 花儿 +2 位作者 包黎红 孟根巴根 特古斯 《内蒙古大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2014年第2期151-157,共7页
主要研究新型氨基酸镁、钙、锌金属络合物(C10H20NCO3-,金属络合物)的合成及性能,并对络合物的物性进行元素分析,DSC,TG-DTA,XRD和FT-IR等表征.对镁、钙、锌的金属盐(C7H15CO2-,金属皂)进行了研究比较.当氨基酸钙络合物在甲醇或氯仿等... 主要研究新型氨基酸镁、钙、锌金属络合物(C10H20NCO3-,金属络合物)的合成及性能,并对络合物的物性进行元素分析,DSC,TG-DTA,XRD和FT-IR等表征.对镁、钙、锌的金属盐(C7H15CO2-,金属皂)进行了研究比较.当氨基酸钙络合物在甲醇或氯仿等溶液中,溶媒的挥发容易形成透明稳定的玻璃体.研究表明,金属络合物中钙络合物容易形成玻璃体,镁络合物加热处理后形成稳定的玻璃体,锌络合物不容易形成玻璃体,而容易形成结晶体.另外,通过偏光显微镜观察了金属络合物的表面,发现玻璃体透明无残渣物,形成较为致密的光滑表面物.玻璃化趋势的金属在氨基酸上的顺序为钙>镁>锌.镁、钙、锌的金属皂化合物不容易形成玻璃体.氨基酸金属络合物经过长程有序-无序化现象,可以形成各种各样的固态物. 展开更多
关键词 氨基酸 金属络合物 分子玻璃体 结晶体 金属皂
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氨基酸系列金属配合物固体形貌的偏光显微镜分析 被引量:1
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作者 那仁格日乐 包黎红 +1 位作者 包富泉 特古斯 《内蒙古师范大学学报(自然科学汉文版)》 CAS 北大核心 2013年第2期181-184,共4页
采用溶液中的化学反应法制备了一系列氨基酸金属(Mg,Ca,Zn,Y,La,Eu,Tb)配合物,并对配合物进行了元素分析及偏光显微镜形貌分析.元素分析结果表明,该系列氨基酸金属配合物具有(C10H20NCO3)nM(n=2~3;M:Mg,Ca,Zn,Y,La,Eu,Tb)型化学分子结... 采用溶液中的化学反应法制备了一系列氨基酸金属(Mg,Ca,Zn,Y,La,Eu,Tb)配合物,并对配合物进行了元素分析及偏光显微镜形貌分析.元素分析结果表明,该系列氨基酸金属配合物具有(C10H20NCO3)nM(n=2~3;M:Mg,Ca,Zn,Y,La,Eu,Tb)型化学分子结构,中心金属的互替换可以改变化合物的固态形貌.通过偏光显微镜观察了金属配合物固态的表面形貌,获得了微观下物体的形貌信息,其中玻璃态配合物透明、无残渣,形成较为致密的光滑表面物. 展开更多
关键词 金属配合物 固态形貌 分子玻璃体 结晶体 非结晶体
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热重与差示扫描量热分析法联用研究钙、镁、锌配合物的热性质 被引量:3
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作者 那仁格日乐 包黎红 +2 位作者 包富泉 特古斯 那存乌日图 《内蒙古农业大学学报(自然科学版)》 CAS 北大核心 2014年第2期177-180,共4页
为了得到金属配合物的热性质,对化学反应法研究制备的氨基酸镁、钙、锌金属配合物(C_(10)H_20NCO_3-)进行了差示扫描量热(DSC)和热重差热(TGA-DTA)联用分析,得到了3种金属配合物的TGA-DTA和DSC曲线,并获取其金属配合物的非晶态的玻璃化... 为了得到金属配合物的热性质,对化学反应法研究制备的氨基酸镁、钙、锌金属配合物(C_(10)H_20NCO_3-)进行了差示扫描量热(DSC)和热重差热(TGA-DTA)联用分析,得到了3种金属配合物的TGA-DTA和DSC曲线,并获取其金属配合物的非晶态的玻璃化转变温度、结晶态的融解焓、吸热以及失重质量等。另外,对配合物进行了元素分析,金相显微镜分析等表征。研究表明,氨基酸钙配合物容易形成非晶态(玻璃态);氨基酸镁配合物容易形成晶态与非晶态的混合态,经过加热冷却处理后可以形成玻璃态;氨基酸锌配合物容易形成结晶态。 展开更多
关键词 氨基酸 金属络合物 分子玻璃体 结晶体
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Excess heat capacity in glass-forming liquid systems containing molecules 被引量:1
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作者 KE HaiBo WEN Ping WANG WeiHua 《Science China(Physics,Mechanics & Astronomy)》 SCIE EI CAS 2013年第6期1090-1095,共6页
Excess heat capacities at glass transition temperature in two types of glass-forming systems of [xNaNO3(1x)KNO3]60·[Ca(NO3)2]40(0x1) and Ca(NO3)2yH2O(4y13) are studied.In the former system,with the replacement of... Excess heat capacities at glass transition temperature in two types of glass-forming systems of [xNaNO3(1x)KNO3]60·[Ca(NO3)2]40(0x1) and Ca(NO3)2yH2O(4y13) are studied.In the former system,with the replacement of K + cation with Na + cation,the excess heat capacity is around 65.1 J mol-1·K-1,while the excess increases by 38.9 J mol-1·K-1 upon one molar H2O content in latter system.A quantitative description to the excess heat capacity is built up with the thermal effects of atomic and molecular translational motion in liquids.The results might offer a further understanding to the glass transition. 展开更多
关键词 glass-forming liquid excess heat capacity the glass transition
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Dual-core photonic crystal fiber polarization splitter based on lead silicate glass
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作者 孙宇伟 白育堃 马秀荣 《Optoelectronics Letters》 EI 2015年第3期170-173,共4页
A dual-core photonic crystal fiber(PCF)polarization splitter based on lead silicate glass is proposed.The characteristics of the polarization splitter are analyzed using full-vector finite element method.Compared with... A dual-core photonic crystal fiber(PCF)polarization splitter based on lead silicate glass is proposed.The characteristics of the polarization splitter are analyzed using full-vector finite element method.Compared with the silica glass PCF polarization splitter with the same structure,it is shown that the new material polarizer can realize splitting with less coupling loss and higher extinction ratio.When the wavelength is 1 550 nm and the PCF length in the beam splitter is 688μm,the coupling loss is only 0.001 9 d B,and the extinction ratio for the input core is-64.1 d B. 展开更多
关键词 Crystal whiskers Finite element method GLASS Light extinction Nonlinear optics Optical instruments Photonic crystals POLARIZATION SILICATES
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