分布串联横向电阻Spindt型FEA的研究

提出了一种新型的分布串联横向电阻Spindt型FEA的制作工艺。通过溅射的办法制备了各层电极、绝缘层以及FEA电阻层。利用磁增强反应离子刻蚀设备 ,刻蚀出Mo薄膜电极图案和直径 1 μm ,深度 1 μm的SiO2 绝缘层圆孔。利用电子束双源蒸发设备 ,蒸发Al和Mo薄膜 ,得到Mo的微尖阵列 ,制成了分布串联横向电阻Spindt型FEA。