对经典双光束分振幅干涉仪的误差分析及改进

本文通过大量的文献调研和实验分析总结了影响迈克尔逊干涉仪测量精度的内部因素和外部因素。通过使用基于三角形中位线一体分光补偿结构和反射镜误差消除装置消除了内部因素,通过使用两个分立的遮光屏消除了影响迈克尔逊干涉仪的测量精度的外部因素。通过使用改进后的迈克尔逊干涉仪测量氦氖激光的波长,我们可以发现测量精度为99.98%。