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题名分析室真空度对原子探针测试数据质量的影响
被引量:1
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作者
李慧
张悦悦
刘文庆
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机构
上海大学微结构重点实验室
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出处
《理化检验(物理分册)》
CAS
2015年第8期555-559,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51301103)
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文摘
根据三维原子探针的工作原理,分析了样品分析室内真空度对测试数据质量的影响,并对核反应堆压力壳钢样品进行了试验分析。结果表明:分析室内的真空度与获得试验数据的背底呈明显的线性相关关系,真空度越高,数据的背底越低;当数据背底高时,在成分分析过程中会引入较大的分析误差,且元素的含量越低,其分析误差越大,尤其当元素原子分数低于0.05%时,其分析误差会达100%以上。因此,稳定维持分析室的超高真空,对于获得高质量的试验数据至关重要。
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关键词
原子探针层析
背底
分析室真空度
成分分析
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Keywords
atom probe tomography
background
analysis chamber pressure
composition analysis
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分类号
TH87
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名AES定量分析中离子溅射修正的实验研究
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作者
范垂祯
杨得全
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机构
航空航天部兰州物理研究所
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出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
1990年第3期179-183,共5页
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文摘
在俄歇电子谱(AES)定量分析中,离子溅射是最常用的表面清洁手段。我们在常规的实验条件下,用AES分析了AgCu、NiCr、CuZa和TiMo合金经低能Ar^+离子轰击后表面成分的变化。用不同的离子溅射理论修正关系修正后发现,在减小离子诱导偏析和增强扩散的条件下,采用Shimizu的修正关系和Sigmuad的级联溅射产额比关系可得到误差较小的定量分析结果。文中对各种修正理论的误差进行了讨论,认为提出的修正措施及方法对实际定量AES分析精度的提高具有一定的意义。
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关键词
AES
俄歇电子谱
表面偏析
中离子
离子轰击
修正因子
Shimizu
NICR
分析室真空度
修正计算
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分类号
TB7-55
[一般工业技术—真空技术]
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