期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究
被引量:
1
1
作者
刘红忠
丁玉成
+1 位作者
卢秉恒
王莉
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第10期1460-1463,共4页
针对在未做隔离保护处理的环境中,基于Michelson干涉原理的激光干涉仪测量系统存在严重的干扰误差,不适合分步式压印光刻纳米级对准测量的要求.采用Edlen公式的分析及计算,不仅在理论上揭示出环境温度、湿度、气压等变化对激光干涉仪测...
针对在未做隔离保护处理的环境中,基于Michelson干涉原理的激光干涉仪测量系统存在严重的干扰误差,不适合分步式压印光刻纳米级对准测量的要求.采用Edlen公式的分析及计算,不仅在理论上揭示出环境温度、湿度、气压等变化对激光干涉仪测量准确度的影响,而且证明影响测量准确度的最大干扰源是空气流动的结果.通过气流隔离措施和系统测量反馈校正控制器,能够实时补偿激光干涉仪两路信号的相差.最终,测量漂移误差在10min内由13nm降低到5nm以内,满足压印光刻在100mm行程中达到20nm定位准确度要求.
展开更多
关键词
分步式压印光刻
纳米测量
误差
激光干涉仪
下载PDF
职称材料
题名
基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究
被引量:
1
1
作者
刘红忠
丁玉成
卢秉恒
王莉
机构
西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第10期1460-1463,共4页
基金
国家自然科学基金(50505037)
国家973重点基础研究发展计划(2003CB716203)资助
文摘
针对在未做隔离保护处理的环境中,基于Michelson干涉原理的激光干涉仪测量系统存在严重的干扰误差,不适合分步式压印光刻纳米级对准测量的要求.采用Edlen公式的分析及计算,不仅在理论上揭示出环境温度、湿度、气压等变化对激光干涉仪测量准确度的影响,而且证明影响测量准确度的最大干扰源是空气流动的结果.通过气流隔离措施和系统测量反馈校正控制器,能够实时补偿激光干涉仪两路信号的相差.最终,测量漂移误差在10min内由13nm降低到5nm以内,满足压印光刻在100mm行程中达到20nm定位准确度要求.
关键词
分步式压印光刻
纳米测量
误差
激光干涉仪
Keywords
Step imprint lithography
Nano-measuring
Error
Laser interferometer
分类号
TM930.12 [电气工程—电力电子与电力传动]
O436.1 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于分步式压印光刻的激光干涉仪纳米级测量及误差研究
刘红忠
丁玉成
卢秉恒
王莉
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部