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标准温度和衬底分步清洗对GaN初始生长影响RHEED研究 被引量:4
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作者 郎佳红 顾彪 +2 位作者 徐茵 秦福文 曲钢 《红外技术》 CSCD 北大核心 2003年第6期64-68,共5页
在经过校温的ECR PEMOCVD装置上 ,通过分析RHEED(反射高能电子衍射 )图像研究了常规清洗和ECR等离子体所产生的活性氢氮等离子体源对蓝宝石衬底进行清洗、氮化实验 ,结果表明 :经常规清洗的蓝宝石衬底的表面晶质差异很大 ;按照经验清洗 ... 在经过校温的ECR PEMOCVD装置上 ,通过分析RHEED(反射高能电子衍射 )图像研究了常规清洗和ECR等离子体所产生的活性氢氮等离子体源对蓝宝石衬底进行清洗、氮化实验 ,结果表明 :经常规清洗的蓝宝石衬底的表面晶质差异很大 ;按照经验清洗 30min是不能清洗充分的 ,那么根据情况进行多步清洗就显得很重要了 ;结果表明清洗得很充分的衬底经 2 0min的氮化出来 ,而未清洗充分的衬底 2 展开更多
关键词 RHEED 反射高能电子衍射 蓝宝石 GAN 标准温度 衬底分步清洗
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酸奶生产系统CIP清洗效果的验证研究
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作者 陈东海 《中国乳业》 2024年第5期98-104,共7页
消费者对产品质量、口感要求逐年严苛。生产设备多样化、复杂性、清洗效果对产品质量存在很大影响。确保乳制品生产过程质量,探讨设备清洗效果,减少产品零星变质,降低批次性质量事故。本文研究生产工艺流程、设备清洗步骤、清洗参数设... 消费者对产品质量、口感要求逐年严苛。生产设备多样化、复杂性、清洗效果对产品质量存在很大影响。确保乳制品生产过程质量,探讨设备清洗效果,减少产品零星变质,降低批次性质量事故。本文研究生产工艺流程、设备清洗步骤、清洗参数设置、清洗隐患点判定,制定合理的设备清洗参数,掌握设备工艺流程。经过设备工艺的梳理、识别隐患点,完善相应参数,有效改善产品的质量问题及批次性质量问题。通过此方法的推行,开展设备的清洗效果验证,有效提升产品质量。 展开更多
关键词 CIP 清洗验证 设备工艺图 分步清洗
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