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标准温度和衬底分步清洗对GaN初始生长影响RHEED研究
被引量:
4
1
作者
郎佳红
顾彪
+2 位作者
徐茵
秦福文
曲钢
《红外技术》
CSCD
北大核心
2003年第6期64-68,共5页
在经过校温的ECR PEMOCVD装置上 ,通过分析RHEED(反射高能电子衍射 )图像研究了常规清洗和ECR等离子体所产生的活性氢氮等离子体源对蓝宝石衬底进行清洗、氮化实验 ,结果表明 :经常规清洗的蓝宝石衬底的表面晶质差异很大 ;按照经验清洗 ...
在经过校温的ECR PEMOCVD装置上 ,通过分析RHEED(反射高能电子衍射 )图像研究了常规清洗和ECR等离子体所产生的活性氢氮等离子体源对蓝宝石衬底进行清洗、氮化实验 ,结果表明 :经常规清洗的蓝宝石衬底的表面晶质差异很大 ;按照经验清洗 30min是不能清洗充分的 ,那么根据情况进行多步清洗就显得很重要了 ;结果表明清洗得很充分的衬底经 2 0min的氮化出来 ,而未清洗充分的衬底 2
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关键词
RHEED
反射高能电子衍射
蓝宝石
GAN
标准温度
衬底
分步清洗
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职称材料
酸奶生产系统CIP清洗效果的验证研究
2
作者
陈东海
《中国乳业》
2024年第5期98-104,共7页
消费者对产品质量、口感要求逐年严苛。生产设备多样化、复杂性、清洗效果对产品质量存在很大影响。确保乳制品生产过程质量,探讨设备清洗效果,减少产品零星变质,降低批次性质量事故。本文研究生产工艺流程、设备清洗步骤、清洗参数设...
消费者对产品质量、口感要求逐年严苛。生产设备多样化、复杂性、清洗效果对产品质量存在很大影响。确保乳制品生产过程质量,探讨设备清洗效果,减少产品零星变质,降低批次性质量事故。本文研究生产工艺流程、设备清洗步骤、清洗参数设置、清洗隐患点判定,制定合理的设备清洗参数,掌握设备工艺流程。经过设备工艺的梳理、识别隐患点,完善相应参数,有效改善产品的质量问题及批次性质量问题。通过此方法的推行,开展设备的清洗效果验证,有效提升产品质量。
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关键词
CIP
清洗
验证
设备工艺图
分步清洗
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职称材料
题名
标准温度和衬底分步清洗对GaN初始生长影响RHEED研究
被引量:
4
1
作者
郎佳红
顾彪
徐茵
秦福文
曲钢
机构
大连理工大学三束材料表面改性国家重点实验室
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2003年第6期64-68,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目 (No .699760 0 8)
文摘
在经过校温的ECR PEMOCVD装置上 ,通过分析RHEED(反射高能电子衍射 )图像研究了常规清洗和ECR等离子体所产生的活性氢氮等离子体源对蓝宝石衬底进行清洗、氮化实验 ,结果表明 :经常规清洗的蓝宝石衬底的表面晶质差异很大 ;按照经验清洗 30min是不能清洗充分的 ,那么根据情况进行多步清洗就显得很重要了 ;结果表明清洗得很充分的衬底经 2 0min的氮化出来 ,而未清洗充分的衬底 2
关键词
RHEED
反射高能电子衍射
蓝宝石
GAN
标准温度
衬底
分步清洗
Keywords
sapphire, cleaning, nitridation, RHEED, GaN
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
TN305.97 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
酸奶生产系统CIP清洗效果的验证研究
2
作者
陈东海
机构
新希望乳业股份有限公司
出处
《中国乳业》
2024年第5期98-104,共7页
文摘
消费者对产品质量、口感要求逐年严苛。生产设备多样化、复杂性、清洗效果对产品质量存在很大影响。确保乳制品生产过程质量,探讨设备清洗效果,减少产品零星变质,降低批次性质量事故。本文研究生产工艺流程、设备清洗步骤、清洗参数设置、清洗隐患点判定,制定合理的设备清洗参数,掌握设备工艺流程。经过设备工艺的梳理、识别隐患点,完善相应参数,有效改善产品的质量问题及批次性质量问题。通过此方法的推行,开展设备的清洗效果验证,有效提升产品质量。
关键词
CIP
清洗
验证
设备工艺图
分步清洗
Keywords
CIP
validation of cleaning
process drawing of equipment
step by step cleaning
分类号
TS252.3 [轻工技术与工程—农产品加工及贮藏工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
标准温度和衬底分步清洗对GaN初始生长影响RHEED研究
郎佳红
顾彪
徐茵
秦福文
曲钢
《红外技术》
CSCD
北大核心
2003
4
下载PDF
职称材料
2
酸奶生产系统CIP清洗效果的验证研究
陈东海
《中国乳业》
2024
0
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职称材料
已选择
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