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椭圆偏振光谱数据处理的分段多项式法 被引量：7
1
作者 李秋俊 莫党 《中山大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 1998年第6期35-39,共5页
采用分段多项式拟合的方法处理椭圆偏振光谱测试数据，可以同时得到样品的厚度和光学常数谱．２个计算实例，①为ＳｉＯ２薄膜，②为新型的掺镧的锆钛酸铅（ＰＬＺＴ）非晶类铁电薄膜．该方法精度高，具有较好的通用性．
关键词 椭圆偏振光谱 数据处理 分段多项法 铁电薄膜
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