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制造高压整流管的新工艺
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作者 裴素华 薛成山 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1996年第6期32-34,共3页
利用开管扩散方式,将元素Ga分为低浓度、高浓度两段掺杂,在N型Si的衬底上形成P区和P^+区用于整流管芯片的制作,能较好地协调元件阻断特性与通态特性的矛盾。
关键词 开管 分段掺杂 整流管 制造工艺 晶闸管
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有n缓冲层SOI RESURF结构的电场分布解析模型 被引量:1
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作者 方健 李肇基 张波 《微电子学》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期207-210,214,共5页
 提出了有n缓冲层SOIRESURF结构的电场分布解析模型,采用MEDICI数值仿真,验证了上述模型的正确性。基于所建立的解析模型,获得了缓冲层的最优杂质浓度分布,提出了提高SOIRESURF结构耐压的缓冲层分段变掺杂新结构。
关键词 SOI RESURF 电场分布 解析模型 缓冲层 分段掺杂 智能功率集成电路
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高功率双浓度掺杂的Nd···YAG复合陶瓷板条激光器 被引量:13
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作者 李密 胡浩 +10 位作者 高清松 王君涛 章健 邬映臣 陈小明 周唐建 徐浏 唐淳 赵娜 刘鹏 许晓小 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期160-165,共6页
理论设计了二极管端面抽运Nd:YAG复合陶瓷板条,制作了双浓度掺杂的Nd:YAG复合陶瓷板条。当二极管总抽运功率为18.06kW时,通过双程放大提取了7.08kW的激光功率,光光转换效率高达39.2%,单程传输的退偏振约为3.2%。实验结果表明,Nd:YAG复... 理论设计了二极管端面抽运Nd:YAG复合陶瓷板条,制作了双浓度掺杂的Nd:YAG复合陶瓷板条。当二极管总抽运功率为18.06kW时,通过双程放大提取了7.08kW的激光功率,光光转换效率高达39.2%,单程传输的退偏振约为3.2%。实验结果表明,Nd:YAG复合陶瓷板条对提高板条激光器的输出功率和减小退偏振具有显著的效果。 展开更多
关键词 激光器 激光陶瓷 板条激光器 分段掺杂 储能密度 退偏振
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高功率双掺杂浓度板条激光技术研究 被引量:6
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作者 李密 胡浩 +8 位作者 唐淳 雷军 汪丹 陈小明 周唐建 李建民 吕文强 赵娜 邬映臣 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第9期218-224,共7页
开展了高功率双掺杂浓度板条激光技术的理论与实验研究,通过分段掺杂有效降低了板条长度方向上的吸收抽运功率密度的不均匀性,显著提高了单个激光板条的平均储能密度,总储能提高了39%。当二极管总抽运功率为15kW时,3kW的种子光源通过双... 开展了高功率双掺杂浓度板条激光技术的理论与实验研究,通过分段掺杂有效降低了板条长度方向上的吸收抽运功率密度的不均匀性,显著提高了单个激光板条的平均储能密度,总储能提高了39%。当二极管总抽运功率为15kW时,3kW的种子光源通过双掺杂板条可提取5.16kW的功率,这个数值相比单掺杂板条增加了36%,且光光转换效率为34.4%,与理论预期基本相符。 展开更多
关键词 激光技术 板条激光器 光光转换效率 分段掺杂 储能密度
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AlGaInP发光二极管老化性能研究
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作者 郑元宇 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2017年第5期307-312,共6页
采用金属有机化学气相沉积系统外延AlGaInP发光二极管,制备成面积小于12 mil×12 mil(300μm×300μm,1mil=25.4μm)的芯片,封装成裸晶结构并在50mA、50℃加速应力环境下进行1008h老化寿命实验,研究外延结构中不同掺杂浓度的分... 采用金属有机化学气相沉积系统外延AlGaInP发光二极管,制备成面积小于12 mil×12 mil(300μm×300μm,1mil=25.4μm)的芯片,封装成裸晶结构并在50mA、50℃加速应力环境下进行1008h老化寿命实验,研究外延结构中不同掺杂浓度的分布式布拉格反射镜(DBR)及分段掺杂P型层对小尺寸芯片老化性能的影响。结果表明:随着芯片尺寸缩小,光衰幅度变大,当芯片尺寸小于9mil×9mil(225μm×225μm)时,通过提升DBR的掺杂浓度可以明显降低光衰幅度;降低与过渡层相邻的P-Al_(0.5)In_(0.5)P薄层的掺杂浓度,形成分段掺杂P型层,通过降低第二段P-Al_(0.5)In_(0.5)P薄层的掺杂浓度,可以进一步提升老化性能。尺寸为6mil×6mil(150μm×150μm)的芯片在50mA、50℃环境下老化1008h,其光衰幅度可控制在-6%以内。 展开更多
关键词 光学器件 ALGAINP 小尺寸 分布式布拉格反射镜掺杂 分段掺杂P型层 光衰
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