透0.45μm～1.6μm反8μm～12μm宽光谱分色滤光片的制备

光谱分色滤光片对成像光谱技术至关重要,是实现光电仪器体积小、质量轻的一个重要器件。根据金属膜具有高反射率的特点和可以进行诱增透的原理,介绍了透0.45μm^1.6μm反8μm^12μm光谱分色滤光片的膜料选择和膜系设计,并应用JGP560A2型磁控溅射镀膜机制备出了光谱性能和理化性能较好的宽光谱分色滤光片,其光谱性能达到0.45μm^1.6μm波段范围内,平均透过率大于80%;8μm^12μm波段范围内,平均反射率大于91%。

可见与远红外分色滤光片的研制

分色滤光片对成像光谱技术起着重要的作用。本文介绍了一种多通道成像系统中使用的宽光谱分色滤光片,实现了在锗基底上45°倾斜使用时,将0.65～1.1μm和8～12μm光谱分成两束光。借助OptiLayer膜系设计软件,得到易于制备的膜系结构,经过多次实验,确定合理的工艺参数,最终得到了光谱性能和理化性能较好的分色片。