太阳能电池用锗单晶片加工废料综合回收利用研究

用过滤法对废料液中的C10号切割润滑油进行分离,再对分离出的油液进行分馏提纯,C10号润滑油回收率可达到72.6%。过滤分离油后的锗和碳化硅粉的残渣经灼烧后,在NaOH溶液中用过氧化氢进行氧化溶解锗,使其进入溶液,然后过滤分离出溶液中不溶解的碳化硅粉,进行加热洗涤净化后得到纯净的碳化硅粉,碳化硅粉的回收率可达到95.6%。对富含锗的溶解滤液进行蒸发浓缩水分后,用盐酸蒸馏得到GeCl4,锗回收率可达到98%以上。