高速线切割系统张力控制研究

本文对高速线切割系统的张力控制技术进行论述,分析了高速线切割系统中张力控制技术的特点,在此基础上,提出了一种线张力的控制方法。该方法基于对张力摆臂位置信号变化的实时检测,将检测位置的变化转变为电机扭矩的变化,通过控制电机扭矩来调整切割线张力,由控制软件来实现对切割线张力的检测、分析与控制。控制方式简洁,控制精度高,成功实现了在双轴辊系统驱动下的多线切割机张力控制。实验证明,该方法可靠、稳定,能很好的检测并控制多线切割系统张力精度。

多线切割工艺中晶片翘曲度的控制

翘曲度是鉴别晶片几何参数好坏的重要指标之一。采用逐点扫描法对多线切割制备的晶片翘曲度分布进行了测量。通过对切割线张力、砂浆使用次数、切割速度等影响翘曲度的主要因素进行实验分析,阐述了产生的原因,并得出了翘曲度的分布规律。针对影响翘曲度的主要因素,根据其分布规律调整相应的切割工艺条件,可较好地控制晶片的翘曲度。虽是针对Si单晶加工中出现的实验情况进行分析,但该结论完全可用于Ge、GaAs等其他晶体的加工中。

基于ER阻尼的WEDM电极丝恒张力微机控制

电流变液是一种可控智能阻尼介质,其表观粘度和剪切屈服应力随外加电场发生快速变化。设计了一种以ER阻尼器为执行元件的恒张力微机控制系统,系统响应快,较好地解决了电火花线切割加工过程中的张力测量和控制精度问题,实现了电极丝的恒张力控制。