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规避指定图形位于切割道十字区域的方法
被引量:
1
1
作者
宋辉英
《中国集成电路》
2019年第8期53-56,78,共5页
封装阶段切割时应力引发的裂纹,导致封装厂反向要求代工厂在框架(frame)设计时切割道十字的指定区域内不允许存在测试图形;光罩制作和使用过程中由对顶角图形造成的静电击穿效应,也会要求框架的切割道十字区域规避图形成顶角的状况。本...
封装阶段切割时应力引发的裂纹,导致封装厂反向要求代工厂在框架(frame)设计时切割道十字的指定区域内不允许存在测试图形;光罩制作和使用过程中由对顶角图形造成的静电击穿效应,也会要求框架的切割道十字区域规避图形成顶角的状况。本文使用MaskCompose工具进行定制化设置,达到框架设计时自动规避切割道十字区域的功能,大幅度提升工作效率。
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关键词
frame设计
切割道十字区域
MaskCompose
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职称材料
题名
规避指定图形位于切割道十字区域的方法
被引量:
1
1
作者
宋辉英
机构
上海华力微电子有限公司
出处
《中国集成电路》
2019年第8期53-56,78,共5页
文摘
封装阶段切割时应力引发的裂纹,导致封装厂反向要求代工厂在框架(frame)设计时切割道十字的指定区域内不允许存在测试图形;光罩制作和使用过程中由对顶角图形造成的静电击穿效应,也会要求框架的切割道十字区域规避图形成顶角的状况。本文使用MaskCompose工具进行定制化设置,达到框架设计时自动规避切割道十字区域的功能,大幅度提升工作效率。
关键词
frame设计
切割道十字区域
MaskCompose
Keywords
frame design
cross area of scribe line
MaskCompose
分类号
TP3 [自动化与计算机技术—计算机科学与技术]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
规避指定图形位于切割道十字区域的方法
宋辉英
《中国集成电路》
2019
1
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