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规避指定图形位于切割道十字区域的方法 被引量:1
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作者 宋辉英 《中国集成电路》 2019年第8期53-56,78,共5页
封装阶段切割时应力引发的裂纹,导致封装厂反向要求代工厂在框架(frame)设计时切割道十字的指定区域内不允许存在测试图形;光罩制作和使用过程中由对顶角图形造成的静电击穿效应,也会要求框架的切割道十字区域规避图形成顶角的状况。本... 封装阶段切割时应力引发的裂纹,导致封装厂反向要求代工厂在框架(frame)设计时切割道十字的指定区域内不允许存在测试图形;光罩制作和使用过程中由对顶角图形造成的静电击穿效应,也会要求框架的切割道十字区域规避图形成顶角的状况。本文使用MaskCompose工具进行定制化设置,达到框架设计时自动规避切割道十字区域的功能,大幅度提升工作效率。 展开更多
关键词 frame设计 切割道十字区域 MaskCompose
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