对钢绞线“切口效应”改善的探讨

要改善钢绞线锚具的“切口效应”就要分阶段对夹片进行设计，通过分析和试验观测提出了对“切口效应”的改善措施，使GYM锚锚固效率系数ηA≥0.95。

SOI深槽刻蚀Notching效应的研究

本文研究了高频(13.56 MHz)和低频(380 KHz)深槽刻蚀机,对SOI硅片深槽刻蚀横向切口(notching)效应的影响。结果表明:过刻蚀量(OE)在20%时,高频设备发生notching现象,但是随着槽尺寸的增大,notching的横向刻蚀量呈线性下降;低频设备在OE为90%时仍没有明显notching现象。研究表明SF6等离子体频率较低,难以响应高频射频场;以及高频设备刻蚀离子垂直方向性较强,易造成介质层电荷积累是导致notching效应的主要原因。