近场扫描光学显微镜中一种新的切向力检测系统

在近场扫描光学显微镜（ＮＳＯＭ）［１］中，近场距离控制一般采用切向力控制法。检测切向力有两种方法：光学检测法和非光学检测法。目前普遍采用非光学检测法，基本上是采用压电陶瓷管控制探针和样品的距离。本文提出一种新的切向力检测系统，利用双压电片实现近场距离控制。实验结果表明，检测灵敏度大大提高，扫描力显微（ＳＦＭ）像的分辨率可达纳米量级。

近场扫描光学显微镜中的一种新型距离控制方法研究

近场扫描光学显微镜（ＮＳＯＭ）中，切向力的检测有两种方法：光学检测法和非光学检测法．目前普遍采用的非光学检测法，基本上是采用压电陶瓷产生振荡，检测振幅在切向力作用下的衰减，从而控制探针和样品的距离．文中提出了一种新型的近场距离控制方法，即利用双压电片产生振荡和进行检测．实验结果表明，此法可明显提高检测灵敏度．

新型多功能膜/基结合力测定仪的研制

采用改进划痕法原理及切向力检测临界载荷方法,研制了一种新型多功能膜/基结合力测定仪。该仪器结构新颖,实用简便,不仅能测定金属膜层与基体的结合强度,还能对金属膜层进行模拟单颗粒磨损试验。试验表明,该仪器具有较高的可靠性。