新型多功能膜/基结合力测定仪的研制

采用改进划痕法原理及切向力检测临界载荷方法,研制了一种新型多功能膜/基结合力测定仪。该仪器结构新颖,实用简便,不仅能测定金属膜层与基体的结合强度,还能对金属膜层进行模拟单颗粒磨损试验。试验表明,该仪器具有较高的可靠性。