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砂轮划片机主轴系统装配精度对划切槽质量的影响
被引量:
2
1
作者
闫启亮
田知玲
+2 位作者
郎小虎
张伟
常亮
《电子工业专用设备》
2011年第6期20-23,共4页
分析砂轮划片机主轴系统的装配精度,使得主轴刀盘面在工作台笛卡尔坐标系中的位置精度以及在安装砂轮刀片后,划切晶圆对划切槽质量造成的影响,如何调整刀盘的精度,降低崩边和裂角,提高划切槽的质量。
关键词
主轴
晶圆
划切槽
下载PDF
职称材料
题名
砂轮划片机主轴系统装配精度对划切槽质量的影响
被引量:
2
1
作者
闫启亮
田知玲
郎小虎
张伟
常亮
机构
北京中电科电子装备有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2011年第6期20-23,共4页
文摘
分析砂轮划片机主轴系统的装配精度,使得主轴刀盘面在工作台笛卡尔坐标系中的位置精度以及在安装砂轮刀片后,划切晶圆对划切槽质量造成的影响,如何调整刀盘的精度,降低崩边和裂角,提高划切槽的质量。
关键词
主轴
晶圆
划切槽
Keywords
Spindle Wafer Nick
分类号
TN605 [电子电信—电路与系统]
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职称材料
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作者
出处
发文年
被引量
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1
砂轮划片机主轴系统装配精度对划切槽质量的影响
闫启亮
田知玲
郎小虎
张伟
常亮
《电子工业专用设备》
2011
2
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