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划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度 被引量:46
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作者 冯爱新 张永康 +1 位作者 谢华琨 范真 《江苏大学学报(自然科学版)》 EI CAS 2003年第2期15-19,共5页
薄膜-基体界面结合性能是直接关系到膜-基体系最终使用性能和可靠性的关键因素和首要指标 划痕试验法是唯一广泛应用于测量硬质薄膜-基体界面结合强度的实用的检验方法 文中给出划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度的原理、方法与过程,... 薄膜-基体界面结合性能是直接关系到膜-基体系最终使用性能和可靠性的关键因素和首要指标 划痕试验法是唯一广泛应用于测量硬质薄膜-基体界面结合强度的实用的检验方法 文中给出划痕试验法表征薄膜涂层界面结合强度的原理、方法与过程,以及临界载荷Lc的确定方法,分析影响临界载荷Lc和压头与薄膜-基体组合体之间摩擦系数μ因素 最后。 展开更多
关键词 薄膜涂层 界面结合强度 划痕试验法 可靠性 使用寿命 薄膜技术
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划痕试验法对特殊薄膜系结合力的检测与评价 被引量:37
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作者 华敏奇 袁振海 《分析测试技术与仪器》 CAS 2002年第4期218-225,共8页
简要介绍了划痕试验法测量表面薄膜与基体结合力的测试原理和实验方法,讨论了影响临界载荷Lc测量值准确性的主要因素.通过对薄膜系的分类以及大量实际测量数据的总结和分析,认为被测薄膜以及基体的物理化学特性对临界载荷的测量具有重... 简要介绍了划痕试验法测量表面薄膜与基体结合力的测试原理和实验方法,讨论了影响临界载荷Lc测量值准确性的主要因素.通过对薄膜系的分类以及大量实际测量数据的总结和分析,认为被测薄膜以及基体的物理化学特性对临界载荷的测量具有重要的影响,单纯从声发射信号的变化来确定临界载荷的方法有可能存在较大误差.分析和讨论了某些特殊薄膜系的声发射信号与其实际临界载荷值之间存在较大偏差的现象和原因,并提出了针对不同膜系,合理利用声发射曲线、摩擦力斜率以及显微观测来正确判定临界载荷的必要性. 展开更多
关键词 划痕试验法 薄膜 检测 评价 膜-基体结合力 临界载荷Lc
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划痕试验法的物理模型及研究现状 被引量:7
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作者 胡树兵 崔崑 《湖北汽车工业学院学报》 2001年第1期29-32,共4页
本文总结了划痕试验法的物理模型及研究现状 ,临界载荷与涂层和基体之间的界面剪切强度和附着功有物理关系 ,临界载荷能够表征涂层与基体的结合力。
关键词 划痕试验法 结合强度 附差功 剪切强度 涂层 物理模型 测试原理 涂层材料
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用划痕试验法测定薄膜附着性过程中薄膜破裂形态的研究
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作者 王家祥 陈宝清 +1 位作者 郭可切 黄燕清 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1990年第4期255-260,共6页
本文通过对表征TiN、TiC薄膜与基体间附着力的划痕试验结果的深入分析发现,划痕试验中,压头在簿膜上的滑动特征以及标志此特征的作用于压头上的垂直力(载荷)与水平力(摩擦力)构成的曲线不但与薄膜与基体间的结合力有关,而且与薄膜的表... 本文通过对表征TiN、TiC薄膜与基体间附着力的划痕试验结果的深入分析发现,划痕试验中,压头在簿膜上的滑动特征以及标志此特征的作用于压头上的垂直力(载荷)与水平力(摩擦力)构成的曲线不但与薄膜与基体间的结合力有关,而且与薄膜的表面形态、膜厚以及薄膜的韧性等因素有关。薄膜破裂时,压头在薄膜上的滑动特征发生突然变化,伴随摩擦系数变化及摩擦力的剧烈变化。这些变化可做为判定薄膜临界载荷的依据,用扫描电子显微镜(SEM)和电子探针显微分析仪(EPMA)对不同基体的TiN、TiC薄膜的破裂形态进行了系统的研究,探讨了影响薄膜破裂形态的主要因素及薄膜破裂形态与正确判定临界载荷间的关系。 展开更多
关键词 划痕试验法 膜破裂 附着性 临界载荷 扫描电子显微镜 垂直力 化学气相沉积 形貌观察 磁控溅射 电弧离子镀
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划痕试验法测定TiN薄膜的粘着力
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作者 郭祥才 姜乐周 +3 位作者 袁有臣 赵程 石玉龙 李世直 《青岛科技大学学报(自然科学版)》 CAS 1989年第2期73-78,共6页
本文用划痕试验法研究了直流等离子体化学气相沉积(PCVD)镀膜工艺在高速钢、碳钢上沉积的 TiN 膜的剥落方式,测量了膜层被划干净时的临界载荷,并和 PVD、CVD 工艺在高速钢、硬质合金钢上镀的 TiN 膜作了比较,结果表明:PCVD 法较 PVD 法... 本文用划痕试验法研究了直流等离子体化学气相沉积(PCVD)镀膜工艺在高速钢、碳钢上沉积的 TiN 膜的剥落方式,测量了膜层被划干净时的临界载荷,并和 PVD、CVD 工艺在高速钢、硬质合金钢上镀的 TiN 膜作了比较,结果表明:PCVD 法较 PVD 法镀的 TiN 膜的粘着力强,达到了 CVD 法镀的 TiN膜的粘着力。 展开更多
关键词 直流等离子体化学气相沉积氮化钛 划痕试验法 临界载荷 粘着力
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膜—基界面结合性能激光划痕检测方法技术优势分析 被引量:6
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作者 冯爱新 谢华锟 +3 位作者 张永康 范真 蔡兰 周明 《工具技术》 北大核心 2003年第9期10-13,共4页
提出红外激光划痕准静态测量新方法。在分析传统划痕试验法和激光检测技术研究与应用现状的基础上 ,进行了激光划痕法的技术优势分析。
关键词 膜-基界面结合性能 划痕试验法 激光层裂 激光划痕 技术优势分析
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硬质涂层的硬度及结合力的测试方法 被引量:3
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作者 林香祝 陈仁悟 薛玉娥 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 1989年第3期197-202,共6页
本文描述了测定硬质涂层与基体间的结合力和显微硬度的方法和原理,用四点弯曲法、扭转法、划痕法和压痕技术对硬质涂层(TiN和TiC)的结合力进行测定和评价,对显微硬度(也是涂层的重要性能指标)进行评述。
关键词 硬质涂层 显微硬度 测试方 涂层表面 重要性能指标 基体金属 涂层厚度 划痕 划痕试验法 四点弯曲
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