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刮板式微致动器性能研究
1
作者
于茂华
王小静
+2 位作者
谢明春
王国亮
张敏亮
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期416-419,共4页
刮板式微致动器,是一种可以实现大位移、步进式MEMS纳米微致动器。结合刮板式微致动器的表面硅加工工艺,考虑支撑梁的反作用力建立了新的理论分析模型,分析了微致动器的临界电压、单步位移以及最大输出位移等几个重要性能参数,将理论模...
刮板式微致动器,是一种可以实现大位移、步进式MEMS纳米微致动器。结合刮板式微致动器的表面硅加工工艺,考虑支撑梁的反作用力建立了新的理论分析模型,分析了微致动器的临界电压、单步位移以及最大输出位移等几个重要性能参数,将理论模型的计算结果与已有的实验数据以及理论模型作了对比。结果表明,本文理论分析模型的的理论值与实验结果有较好的一致性。
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关键词
刮板式微致动器
加工工艺
理论建模
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职称材料
题名
刮板式微致动器性能研究
1
作者
于茂华
王小静
谢明春
王国亮
张敏亮
机构
上海大学机电工程与自动化学院
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第3期416-419,共4页
基金
上海市科委纳米专项基金资助项目(0452nm023)
上海市科委应用材料基金资助项目(AM0420)
上海市科委启明星项目资助(03QF14019)
文摘
刮板式微致动器,是一种可以实现大位移、步进式MEMS纳米微致动器。结合刮板式微致动器的表面硅加工工艺,考虑支撑梁的反作用力建立了新的理论分析模型,分析了微致动器的临界电压、单步位移以及最大输出位移等几个重要性能参数,将理论模型的计算结果与已有的实验数据以及理论模型作了对比。结果表明,本文理论分析模型的的理论值与实验结果有较好的一致性。
关键词
刮板式微致动器
加工工艺
理论建模
Keywords
scratch drive actuator
surface micromachining processing
analytical model
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
刮板式微致动器性能研究
于茂华
王小静
谢明春
王国亮
张敏亮
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008
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