毫米波高精度制版工艺

本文通过在工艺实践中的经验及革新的思路 ,介绍了高精度制版的工艺方法。实现了利用现有设备进行毫米波基片制版 ,取得了较好的效益。

一种复合调整型精密高压电源

为保证电子束曝光机用高压电源既有高静态精度,又有高动态稳定性,采用直接调整和间接调整相结合的复合调整方案,同时采用集中补偿和分散补偿相结合的复合补偿方案。为实现高压稳压电源系统的高精密、高稳定和低纹波电压等技术指标,采取了多项合理的特定电路设计和有效的技术处理措施。通过各项性能指标的测试和长期实际工作运行,证明各项技术指标均达到或超过原设计要求,保证了电子束曝光机的制版精度。