-
题名用在可制造性设计中的光刻规则检查
被引量:1
- 1
-
-
作者
陆梅君
金晓亮
毛智彪
梁强
-
机构
上海宏力半导体制造有限公司
-
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第12期920-923,共4页
-
基金
上海浦东新区专项基金项目(PKJ2004-58)
-
文摘
可制造性设计(DFM)已经发展成为优化通晓制造技术设计中的有效工具,它包含从理论、规则到工具的整体应用来提升从设计到硅片的流程。基于制程模型的光刻规则检查(LRC),可查出没被设计规则检查(DRC)出来的设计布局的不足之处。本设计把光刻规则检查加入到设计流程中,用来优化设计规则,改善布局更有利光学邻近效应修正,使布局图形有更大的制程窗口。
-
关键词
可制造性设计
光刻规则检查
光学邻近效应修正
设计规则
制程窗口
-
Keywords
DFM
litho-rule checking
OPC
design rule
process window
-
分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
-
-
题名偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应修正
- 2
-
-
作者
陆梅君
金晓亮
毛智彪
梁强
-
机构
上海宏力半导体制造有限公司
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
中国科学院研究生院
-
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期673-675,679,共4页
-
基金
上海浦东新区专项基金项目(PKJ2004-58)
-
文摘
提出了一种新型的与制程窗口紧密相关,被称为偏离最佳条件的基于模型的光学邻近效应模型,该模型包含制程参数变化的信息。该模型引导得到的修正的图形在工艺参数变化时也会表现得非常稳定,而且相对标准模型而言,缩短了建立模型的周期,节省了光罩出版的时间。
-
关键词
偏离最佳
光学邻近效应
制程窗口
-
Keywords
off-target
optical proximity correction
process window
-
分类号
TN305.7
[电子电信—物理电子学]
-