专利视角看光刻机技术应用

光刻机是半导体制造过程中的核心设备之一,它包括光源、掩模版、光学系统、工件台等关键组件。光刻机的设计和制造难度极高,需要精确控制光源波长、光学系统的数值孔径、工件台的定位精度等,以实现高精度的图案转移。随着技术的发展,光刻机也在不断进步,例如从传统的紫外光刻技术发展到极紫外光刻(EUV)技术,以支持更小特征尺寸的集成电路生产。光刻机是一种用于微电子芯片制造中的关键设备,它通过光刻技术将芯片设计图案投影到硅片表面,从而实现微小的图案化制造。光刻机的发展经历了从简单到复杂、从粗糙到精细的演变过程,为现代微电子行业的发展提供了重要支持。

极紫外光刻新技术问世

据报道,日本冲绳科学技术大学院大学(OIST:Okinawa Institute of Science and Technology Graduate University)设计了一种极紫外(EUV:Extreme Ultra-Violet)光刻技术,超越了半导体制造业的标准界限。基于此设计的光刻设备可采用更小的EUV光源,其功耗还不到传统EUV光刻机的1/10,从而降低成本并大幅提高机器的可靠性和使用寿命。

现存《新刻金瓶梅词话》为《金瓶梅》初刻本新考——兼论其最终刊刻完成时间

梳理现存《新刻金瓶梅词话》是否为《金瓶梅》的初刻本相关论述,双方不少分歧属于对个别文献解读的仁智之见,沈德符所见“吴中刻本”就是《金瓶梅》的初刻本则是在不断讨论中形成的重要共识。实际上,解决这一问题的关键在于确定现存《新刻金瓶梅词话》刊刻完成时间以及沈德符“金瓶梅”条所记其得见“吴中刻本”时间。根据避讳情况,现存《新刻金瓶梅词话》刊刻完成在万历四十八年(1620)九月至天启元年(1621)正月之间;根据沈德符生平及其与丘志充交往情况,其得见《金瓶梅》初刻本并撰写“金瓶梅”条时间亦为万历四十八年。文献记载与实物证据的交叉重合,充分证明现存《新刻金瓶梅词话》就是《金瓶梅》初刻本,其最终刊刻完成时间为万历四十八年年底。

“版刻字体”起源与“浙刻欧体”典范的确立

“版刻字体”有着独立的发展脉络,正式发端于五代后唐监本《九经》,对后世中国文化传播影响重大,然而设计领域对其研究还远远不够。本文上溯开成石经、五代监本、“经生一派”所习欧体以及科举动力等,意在厘清“版刻字体”起源与“浙刻欧体”典范确立之间的关系;同时通过字体比较揭示其中蕴含的中国内生的早期“现代设计”意识。

基于不完全匹配的掩膜版进行芯片套刻的校准方案

提出一种校准方案,在套刻曝光一般步骤的基础上进行适当调整,用不完全匹配的掩膜版同样能够实现准确的套刻曝光。研究为提高芯片制备效率、保证对准精度提供了新思路。

孤本宋刻钱杲之《离骚集传》递藏轨迹考述

国图藏钱杲之《离骚集传》,根据其题跋、题识、题签与藏书印,结合对与之相关的历代书目文献的考察,一条完整的递藏链就清晰地凸现出来了:孤本宋刻钱杲之《离骚集传》首藏于江阴朱承爵“存与堂”,由其后人朱元孺递藏;又藏于常熟毛晋“汲古阁”,由其子毛褒、毛表递藏;继藏于丰润曹寅“楝亭”;继藏于桐乡金德舆“桐华馆”;继藏于平江黄丕烈“士礼居”;继藏于长洲汪士钟“艺芸书舍”,由其后人汪宪奎、汪振勋递藏;继藏于常熟瞿绍基“铁琴铜剑楼”,由其后人瞿镛、瞿润、瞿秉渊、瞿启科、瞿启甲、瞿济苍、瞿旭初、瞿凤起祖孙五代递藏(瞿启甲掌握期间,武进费念慈和常熟邵松年均曾向其借以影抄录副),1950年由瞿济苍、瞿旭初、瞿凤起兄弟将其捐献于中央人民政府,今藏于国家图书馆。同时我们仍然可以看到作者对楚辞研究的细心、认真与贡献,这也充分证明了此书确为宋刻孤本而非影抄本。

四翼内凹刻槽钻杆高效排渣钻进技术研究

为解决松软煤层钻进钻孔排渣通道堵塞这一制约钻孔施工效果的关键难题,基于优化钻杆截面形状以增大排渣空间、预防钻孔堵塞这一理念,提出四翼内凹刻槽钻杆几何设计构想,通过孔内排渣阻力力学方程计算验证、钻杆排渣效果数值模拟,分析钻杆结构参数对排渣性能的影响,研制四翼内凹刻槽钻杆并在某矿进行工业性试验。研究结果表明:相较于传统圆状刻槽钻杆,四翼内凹刻槽钻杆在施工过程中具有更大的排渣空间,通过孔内沿程阻力计算对比,四翼内凹刻槽钻杆孔内沿程阻力较圆状刻槽钻杆低13%;数值模拟计算结果表明,当弧形内凹切槽对钻杆的圆心角α=35°、切入深度|EF|=4 mm时,渣体运移距离最大,平均运移速度最大,排渣性能最优;工业性试验表明,使用四翼内凹刻槽钻杆施工钻孔,班进尺长度和终孔深度得到显著提升。研究结果可为煤矿瓦斯抽采钻孔钻具设计提供参考。

刘应袭刻《西厢记》:陈眉公本的翻刻重评本

万历间刘应袭(太华)梓《李卓吾批评合像北西厢记》,是一个孤本,现藏于美国伯克莱加州大学东亚图书馆。郭立暄率先撰文研究其书,并提出陈眉公本据刘太华本刊刻的意见。陈旭耀表示此说“或可商榷”。本文认为,刘太华本乃是陈眉公本的翻刻重评本,其正文和批语都是在陈眉公本的基础上,再参校容与堂本而成。故此认定刘本的出版时间晚于陈眉公本,即在万历四十六年(1618)之后。孙月峰本的渊源关系与刘太华本相同,属于兄弟关系,相互之间并无直接影响。

清代河南刊刻医籍情况与种类特点研究

研究已发现的清代河南刊刻的医籍共19部,其中官刻医籍2部、坊刻医籍12部、私刻医籍5部。书籍内容全面,涉及临床各科,《经验救急良方》为方书著作,《豫医双璧》为伤寒类和攻邪派医家著作,《针灸易学》为针灸类著作,《七十二翻症》为中医内科急症著作,《胎产心法》《达生编纂要》《庄氏福幼编遂生编》《傅青主男女科全编》为中医妇科、儿科、男科著作,《寿亲养老新书》《生生理言》《卫生易筋经》为中医养生学著作,《瘟疫条辨摘略》为温病学著作,《外科证治全书》《外科证治全生集》为中医外科著作,《保赤推拿法》为推拿学著作,《加减回生第一仙丹经验良方》为骨伤科著作,《洄溪医案》《笔花医镜》则涉及中医内、外、妇、儿各科。但与同时代刊刻的其他书籍相比,医籍的刊印数量相对较少,刊刻地主要在开封,以坊刻本居多,著者以省外医家为主,虽然未能全面勾勒出清代河南籍医家著作的整体风貌,但仍然起到了保存中医著作文本,促进中医学术传承,推动中医学科发展,丰富中原医学文化,普及中医科学知识的作用,是了解清代河南中医药事业发展的重要载体。

套刻精度标准样片的制备工艺及其在光刻工艺中的应用探索

在微电子器件的制造中,光刻工艺对套刻精度有着严格的要求。本文以此为背景,着重探讨了套刻精度标准样片的制备工艺以及其在光刻工艺中的应用。确定了制作套刻标准样片的最佳工艺条件,并成功制备出高精度套刻标准样片。在光刻中的实际应用过程中对这些样片进行了测试和评估,测试结果表明,此标准样片可以有效地提高光刻的套刻精度,进而提高微电子器件的精度,还进一步分析了提升精度方式的机理。这些结果与现有的理论和实验数据都有着很好的匹配性,证实了制备出的套刻精度样片在改进和优化光刻工艺中的重要应用价值。本研究为微电子器件领域提供了一种有效的工艺优化方法,对于提升产品质量、降低生产成本具有实际意义。

体温计自动标刻与分拣设备及控制方法设计

针对人工合规性检验体温计产品时存在的疲劳度大、误判率高、分拣及标刻效率低等问题,设计了一种基于机器视觉的体温计标刻与分拣装置,并采用PyQt5及C语言分别实现了上位机、下位机控制程序,构建了一套功能完备的体温计自动化标刻与分拣设备。实践表明,该设备能高效完成体温计标刻及分拣任务,提高了生产厂家的生产效率。

明清官员刻曲现象概览

明清两代,一批以府州县地方官为主的官员在公务之余致力于刻曲。其所刻曲籍多为本人、亲友、乡党或辖区内诸贤的曲作。编刊过程中,官员多郑重其事,依托交际圈展开征文、评论与考据等活动,仔细校勘,精心刻印,不少刻本多次补刻重印。由于官员掌握着丰富而优质的资源,又发动一批社会精英参与其事,故而刊本质量以精良居多。总之,官员在编刊活动中发挥主导作用,对曲籍的传播和接受产生了显著影响。

明正德刻本《孫可之文集》底本指實——兼論底本實物的探求

宋蜀刻本《孫可之文集》是正德十二年王鏊刻本的底本。蜀刻本現存兩部印本,一部經元翰林國史院入明文淵閣,另一部乾嘉時被顧抱沖收藏,前者被認爲是王鏊傳録所據,亦即正德本之底本。有學者認爲顧藏本爲初印,國史院本爲剜版後印。藉助新的彩印複製本,可以確認:顧藏本經描潤,國史院本有挖紙改字而非剜版後印,二者刷印時間相近。顧藏本的特異之處與正德本高度吻合,是正德本的實際底本。指實底本實物,對於準確把握版本關係、刊刻過程中的文本變化等問題,有重要價值。辨識是寫是刻,離析“文本總和”下的各層次,是印本研究中必不可少的史料批判工作。

侯官刻书文化历史特征探析

侯官是古代福建除建阳、四堡之外的另一重要刻书地区。侯官刻书具有独特的历史特征:持续时间长,发轫于五代,历经千载而未衰,至清末仍有大量刊本;刻书体系完备,宋元明清时期官刻、文人家刻和寺观等民间刻都相当发达,到清代中后期坊刻亦大兴;官刻和寺观等民间刻资金充足,刻书往往规模浩大,雕印精良;侯官刻本在对外文明交流中也发挥着重要作用,从宋代开始就有侯官刻本流播海外,元末明初侯官刻工东渡日本、技术输出,清代“福州刻琉球本”的刊行成为中琉文化交流的见证。

常州留青竹刻的工艺现状与问题探析

常州留青竹刻是中国传统非遗技艺之一,面临传承困难、受众面小等问题。应从传承主体和产品创新两方面入手,通过政府支持、多元主体参与、产品创新等措施,提高传统技艺的现代生活适应性,扩大受众面,促进留青竹刻技艺的传承与发展。具体措施包括加强制度建设、举办非遗技艺宣传和体验活动、结合现代设计理念开发新产品等。作为国家级非遗保护项目,留青竹刻应在技艺创新、材料与工艺探索、功能与应用场景拓展、市场定位与品牌建设、跨界合作与资源整合、营销推广与文化传播等方面采取具体措施,以实现高质量的保护与传承,焕发新的生机与活力。

龙泉窑古代青瓷刻花装饰艺术初探

龙泉窑刻花装饰的历史悠久,源远流长,堆塑、划刻、雕刻、模印等装饰艺术初现;唐末五代至北宋时期龙泉窑的刻花装饰中,刻、划、削、雕、塑等皆用,常见莲瓣纹、水波纹、螺旋纹、缠枝纹、弦纹、条纹等刻花装饰纹样极具地域特征;龙泉窑南宋至元明时代的刻花装饰,构图简洁,刀法娴熟,创造出筋、堆贴、刻花、印模等特色工艺,图案装饰转变成简约、素雅、线条灵动等审美意蕴。

基于钙钛矿光刻胶纳米复合材料的热光刻技术

钙钛矿量子点因其具有高荧光发光效率、窄荧光发射峰、荧光发光波长可调控等一系列优良光学特性,被广泛应用在光电探测、照明显示、激光等领域。为了满足实现快速且简便地大面积制备钙钛矿发光器件的制备要求,提出并实现了一种基于掺杂CsPbBr3钙钛矿前驱体的含锆有机–无机光刻胶材料热光刻蚀技术。复合材料旋涂制成复合薄膜后,研究了温度对薄膜内钙钛矿前驱体形成发光量子点以及温度对薄膜材料折射率的影响,当温度从30℃到110℃不断升高时,钙钛矿前驱体逐渐结晶成发光量子点,在503 nm波长附近处出现窄带宽(半峰宽~25 nm)的优秀荧光效应;以及在波长范围438 nm~510 nm的可见光波段,实现最大0.014的折射率调制。最后,通过对复合薄膜材料进行掩膜紫外光刻,实现了厘米量级的钙钛矿量子点绿光发光带,证明了材料具有优异的光刻性能,为新一代发光器件提供一种材料与热光刻蚀技术方案。

半坡刻符——远古的微笑

设计说明:半坡文化在中国考古史上具有里程碑式的意义,其遗址的发掘和研究对于了解中国古代文明的发展具有重要意义。本设计旨在通过视觉艺术的方式,呈现半坡遗址刻符的神秘魅力,展现远古时期人类智慧与文明的微光。因此,本设计提取了半坡遗址中最具代表性的刻符作为符号元素,通过独特的色彩搭配、图形设计和文字处理,将远古文化与现代审美巧妙结合,使观众在欣赏美的同时,能感受到历史文化的厚重与深远。

岭南刻帖辑刻相关问题研究

岭南刻帖的辑刻在一定程度上反映了岭南刻帖的某些特性。岭南刻帖的编辑者多具雄厚的经济基础及对金石书画的鉴藏偏好,相互间多有交游。岭南刻帖之刻工多由岭南人担任,但亦见其他地域有名之刻工进行刊刻的情况。岭南刻帖摹刻之底本,虽以墨迹为主,但部分历代丛帖及摹古类丛帖,则多以旧刻拓本作为底本补充。在底本来源上,以编辑者自藏为主,但亦有借摹他人藏品的情况。而在岭南刻帖的装潢形制方面,则多仿古代书籍的装帧形制,呈现出更为“质朴”“简洁”的面貌。

聆听工具的声音——海派瓷刻非遗传承人程佩初访谈录

海派瓷刻是“海派”五刻之一,集书法、绘画、篆刻、诗词为一体,将笔墨韵味、文人情怀用特制的工具敲凿镌刻在瓷器表面。程佩初现为上海非物质文化遗产项目瓷刻代表性传承人,宜川瓷刻艺术社社长、工艺美术师,主攻瓷刻、剪纸、金属雕。现以访谈形式记录并分享他对瓷刻工具的一些经验。