光刻伺服盘伺服编码刻写装置研究

本文主要介绍伺服编码刻写装置的系统结构、伺服编码及试验结果,测试和检查方法.实验结果表明,所研究的刻写装置适合光刻伺服盘伺服编码刻写要求,为光刻伺服盘进一步实用化打下了基础.

小型磁盘驱动器伺服刻写装置研究

本文提出了一种具有明显优点的新的伺服信息格式,并且在此基础上完成了伺服刻写装置的设计。实验证明它具有较好的实用性。