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用空间拟合函数实现线间距离的检测
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作者 谢小平 《计量与测试技术》 2000年第1期8-9,共2页
介绍用线阵CCD 作刻线边缘的传感器,以光栅作为计量基准,用空间拟合函数作为计算方法。
关键词 刻线线宽 距离检测 长度计量 空间拟合函数
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