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STM脉冲电压极性对材料微细加工影响的研究
被引量:
1
1
作者
曾志刚
严学俭
+4 位作者
邱伟民
沈淼
张莉
朱国栋
华中一
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期98-101,共4页
利用扫描隧道显微镜(STM)可对不同材料表面进行纳米级微细加工。在选取高定向裂解石墨(HOPG)和有机电双稳材料Ag-TCNQ分别进行直接刻蚀和电学改性的研究中,发现STM脉冲电压极性对实验结果有影响。本文为此构建了物理模型,分析表明在不...
利用扫描隧道显微镜(STM)可对不同材料表面进行纳米级微细加工。在选取高定向裂解石墨(HOPG)和有机电双稳材料Ag-TCNQ分别进行直接刻蚀和电学改性的研究中,发现STM脉冲电压极性对实验结果有影响。本文为此构建了物理模型,分析表明在不同极性的脉冲电压下,分别主要呈现电场效应或电子轰击效应。需要针对具体材料的具体加工要求,选择STM相应的脉冲电压极性。
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关键词
STM
刻蚀与改性
极性
脉冲电压
下载PDF
职称材料
题名
STM脉冲电压极性对材料微细加工影响的研究
被引量:
1
1
作者
曾志刚
严学俭
邱伟民
沈淼
张莉
朱国栋
华中一
机构
复旦大学材料科学系
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第2期98-101,共4页
文摘
利用扫描隧道显微镜(STM)可对不同材料表面进行纳米级微细加工。在选取高定向裂解石墨(HOPG)和有机电双稳材料Ag-TCNQ分别进行直接刻蚀和电学改性的研究中,发现STM脉冲电压极性对实验结果有影响。本文为此构建了物理模型,分析表明在不同极性的脉冲电压下,分别主要呈现电场效应或电子轰击效应。需要针对具体材料的具体加工要求,选择STM相应的脉冲电压极性。
关键词
STM
刻蚀与改性
极性
脉冲电压
Keywords
STM,Lithography and modification,Polarity,Pulse voltage
分类号
TB43 [一般工业技术]
TN605 [电子电信—电路与系统]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
STM脉冲电压极性对材料微细加工影响的研究
曾志刚
严学俭
邱伟民
沈淼
张莉
朱国栋
华中一
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
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职称材料
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