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一种新型环形上DBR刻蚀微结构VCSEL及其空心光束
1
作者
逄超
晏长岭
+2 位作者
杨静航
钱冉
李奕霏
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第4期462-467,共6页
设计了带有质子注入高阻区的刻蚀微结构面发射半导体激光器结构,使得从出光口到上DBR形成环形波导,进而直接产生空心激光束输出。使用FDTD软件计算了刻蚀微结构VCSEL的光场分布,得到的环形模式图样在不同模式数目下都能保持空心光束的...
设计了带有质子注入高阻区的刻蚀微结构面发射半导体激光器结构,使得从出光口到上DBR形成环形波导,进而直接产生空心激光束输出。使用FDTD软件计算了刻蚀微结构VCSEL的光场分布,得到的环形模式图样在不同模式数目下都能保持空心光束的特性。制备了室温下激射波长为848 nm的微结构VCSEL,并测试其输出特性。阈值电流为0.27 A,峰值功率最高可达170 mW。不同电流下的近场图都显示出非常明显的空心环形光斑,远场光强分布曲线也符合空心光束的特性。该新型VCSEL技术为空心光束甚至阵列器件的发展提供了一种新的方法。
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关键词
垂直腔面发射半导体激光器
空心激光束
刻蚀结构
质子注入
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职称材料
一种悬臂梁厚度可控的制作方法
被引量:
1
2
作者
王文婧
黄斌
+1 位作者
陈璞
庄须叶
《集成电路通讯》
2013年第3期25-29,共5页
针对湿法腐蚀加速度计悬臂梁时出现的梁厚度不均匀性问题,采取项层硅可定制的SOI材料制作出梁厚度均匀性一致的器件;采用干法刻蚀工艺减小结构开窗面积提高了产量。针对干法刻蚀中出现的负载效应和footing效应对结构层的厚度和形貌的...
针对湿法腐蚀加速度计悬臂梁时出现的梁厚度不均匀性问题,采取项层硅可定制的SOI材料制作出梁厚度均匀性一致的器件;采用干法刻蚀工艺减小结构开窗面积提高了产量。针对干法刻蚀中出现的负载效应和footing效应对结构层的厚度和形貌的影响问题,采用硅岛填充方式来减小负载效应;通过试验摸索了一组工艺参数,最大化减弱了footing效应,保证了器件厚度的均匀性,同时也提高了产量。
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关键词
SOI材料干法
刻蚀结构
厚度footing效应
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职称材料
基于绝缘体上硅材料的25通道200 GHz的阵列波导光栅(英文)
被引量:
1
3
作者
袁配
王玥
+3 位作者
吴远大
刘丽杰
安俊明
胡雄伟
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期673-678,共6页
报道了基于绝缘体上硅材料的25通道、信道间隔200 GHz的阵列波导光栅,分别优化了输入波导/输出波导/阵列波导间的最小间距(Δx_i/Δx_o/d),及其自由传播区和阵列波导之间边界结构(W_2/L_2/L_3).实验结果表明,该阵列波导光栅的插入损耗为...
报道了基于绝缘体上硅材料的25通道、信道间隔200 GHz的阵列波导光栅,分别优化了输入波导/输出波导/阵列波导间的最小间距(Δx_i/Δx_o/d),及其自由传播区和阵列波导之间边界结构(W_2/L_2/L_3).实验结果表明,该阵列波导光栅的插入损耗为5~7 dB,串扰为13~15 dB,该阵列波导光栅的性能得到有效提升.同时也提出了减小插损与串扰的进一步优化方案.
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关键词
硅基光电子
阵列波导光栅
双
刻蚀结构
波分复用/解复用器
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职称材料
题名
一种新型环形上DBR刻蚀微结构VCSEL及其空心光束
1
作者
逄超
晏长岭
杨静航
钱冉
李奕霏
机构
长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第4期462-467,共6页
基金
Supported by Jilin Province Science and Technology Department project(20220101122JC)
Changchun University of Science and Technology project(627011102)。
文摘
设计了带有质子注入高阻区的刻蚀微结构面发射半导体激光器结构,使得从出光口到上DBR形成环形波导,进而直接产生空心激光束输出。使用FDTD软件计算了刻蚀微结构VCSEL的光场分布,得到的环形模式图样在不同模式数目下都能保持空心光束的特性。制备了室温下激射波长为848 nm的微结构VCSEL,并测试其输出特性。阈值电流为0.27 A,峰值功率最高可达170 mW。不同电流下的近场图都显示出非常明显的空心环形光斑,远场光强分布曲线也符合空心光束的特性。该新型VCSEL技术为空心光束甚至阵列器件的发展提供了一种新的方法。
关键词
垂直腔面发射半导体激光器
空心激光束
刻蚀结构
质子注入
Keywords
vertical cavity surface emitting laser
hollow laser beam
etched microstructure
proton implantation
分类号
TN248.4 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种悬臂梁厚度可控的制作方法
被引量:
1
2
作者
王文婧
黄斌
陈璞
庄须叶
机构
北方通用电子集团有限公司微电子部
出处
《集成电路通讯》
2013年第3期25-29,共5页
文摘
针对湿法腐蚀加速度计悬臂梁时出现的梁厚度不均匀性问题,采取项层硅可定制的SOI材料制作出梁厚度均匀性一致的器件;采用干法刻蚀工艺减小结构开窗面积提高了产量。针对干法刻蚀中出现的负载效应和footing效应对结构层的厚度和形貌的影响问题,采用硅岛填充方式来减小负载效应;通过试验摸索了一组工艺参数,最大化减弱了footing效应,保证了器件厚度的均匀性,同时也提高了产量。
关键词
SOI材料干法
刻蚀结构
厚度footing效应
分类号
TN305.92 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于绝缘体上硅材料的25通道200 GHz的阵列波导光栅(英文)
被引量:
1
3
作者
袁配
王玥
吴远大
刘丽杰
安俊明
胡雄伟
机构
中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室
中国科学院大学材料科学与光电技术学院
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期673-678,共6页
基金
Supported by National Key R&D Program of China(2016YFB0402504)
文摘
报道了基于绝缘体上硅材料的25通道、信道间隔200 GHz的阵列波导光栅,分别优化了输入波导/输出波导/阵列波导间的最小间距(Δx_i/Δx_o/d),及其自由传播区和阵列波导之间边界结构(W_2/L_2/L_3).实验结果表明,该阵列波导光栅的插入损耗为5~7 dB,串扰为13~15 dB,该阵列波导光栅的性能得到有效提升.同时也提出了减小插损与串扰的进一步优化方案.
关键词
硅基光电子
阵列波导光栅
双
刻蚀结构
波分复用/解复用器
Keywords
silicon photonics
arrayed waveguide gratings
double-etch structure
wavelength division multiplexing/de-multiplexer
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
一种新型环形上DBR刻蚀微结构VCSEL及其空心光束
逄超
晏长岭
杨静航
钱冉
李奕霏
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
2
一种悬臂梁厚度可控的制作方法
王文婧
黄斌
陈璞
庄须叶
《集成电路通讯》
2013
1
下载PDF
职称材料
3
基于绝缘体上硅材料的25通道200 GHz的阵列波导光栅(英文)
袁配
王玥
吴远大
刘丽杰
安俊明
胡雄伟
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
1
下载PDF
职称材料
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