期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
4
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
157nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响
被引量:
3
1
作者
戴玉堂
崔健磊
+1 位作者
徐刚
白帆
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期36-38,85,共4页
为了研究157nm激光工艺参量对刻蚀性能的影响,采用157nm深紫外激光对两种宽禁带材料(石英玻璃和蓝宝石)进行微刻蚀试验,得到了理想的工艺参量范围,蓝宝石的刻蚀速率大约是石英玻璃的一半,并且蓝宝石的刻蚀表面要比石英玻璃粗糙得多。随...
为了研究157nm激光工艺参量对刻蚀性能的影响,采用157nm深紫外激光对两种宽禁带材料(石英玻璃和蓝宝石)进行微刻蚀试验,得到了理想的工艺参量范围,蓝宝石的刻蚀速率大约是石英玻璃的一半,并且蓝宝石的刻蚀表面要比石英玻璃粗糙得多。随着刻蚀深度的增加,光解生成物的脱出变得困难,从而导致刻蚀速率的降低。选用较高的扫描速率和较低脉冲频率的组合进行激光扫描刻蚀能有效地降低刻蚀面的粗糙度。结果表明,对非金属材料的刻蚀,激光的能量密度在材料刻蚀阈值的2.5倍~4倍时能获得较好的刻蚀效果。
展开更多
关键词
激光技术
157nm激光
激光参量
刻蚀
效率
刻蚀质量
下载PDF
职称材料
等离子体刻蚀
2
作者
刘之景
《自然杂志》
1998年第6期342-344,共3页
本文介绍了等离子体刻蚀的概念、优点和应用,刻蚀的物理机制和稠密等离子体源与器件损伤.
关键词
等离子体
刻蚀
器件损伤
稠密等离子体源
物理机制
刻蚀
率
刻蚀质量
集成电路制造
下载PDF
职称材料
248nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究
被引量:
3
3
作者
田姗姗
陈涛
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期687-690,共4页
为了提高玻璃微通道的加工效率及质量,采用248nm准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证,取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据。结果表明,激光加工玻璃微通道的刻蚀阈值为4.54×103m J/mm2;随...
为了提高玻璃微通道的加工效率及质量,采用248nm准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证,取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据。结果表明,激光加工玻璃微通道的刻蚀阈值为4.54×103m J/mm2;随着激光能量的增加,刻蚀深度近似成对数增长,经线性拟合得到刻蚀深度随激光能量变化的公式;随着脉冲频率的增加,刻蚀深度近似成线性增长,经线性拟合得到刻蚀深度随频率变化的公式;且通道底面粗糙度随激光能量及脉冲频率的增加,呈增长趋势;激光的能量在400m J^600m J、脉冲频率在4Hz^7Hz范围的组合激光参量可实现刻蚀率高、粗糙度小的微通道加工。这些结果对于合理选择激光参量、提高玻璃微通道的加工效率及质量是有帮助的。
展开更多
关键词
激光技术
玻璃微通道
248mn激光
激光参量
刻蚀
效率
刻蚀质量
下载PDF
职称材料
基于神经网络的157nm激光微加工
4
作者
崔健磊
戴玉堂
+1 位作者
徐刚
白帆
《应用激光》
CSCD
北大核心
2010年第4期300-303,共4页
157nm激光被视为光刻和微加工的有力工具之一,其加工的表面质量强烈依赖于激光参数。针对157nm微加工的特点,提出建立人工神经网络优化工艺参数的方法。分析与实验结果表明,利用优化的工艺参数进行激光微加工,其刻蚀质量得到明显提高。
关键词
157nm激光
微加工
刻蚀质量
神经网络
工艺优化
原文传递
题名
157nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响
被引量:
3
1
作者
戴玉堂
崔健磊
徐刚
白帆
机构
武汉理工大学光纤传感技术与信息处理教育部重点实验室
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第1期36-38,85,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(50775169)
文摘
为了研究157nm激光工艺参量对刻蚀性能的影响,采用157nm深紫外激光对两种宽禁带材料(石英玻璃和蓝宝石)进行微刻蚀试验,得到了理想的工艺参量范围,蓝宝石的刻蚀速率大约是石英玻璃的一半,并且蓝宝石的刻蚀表面要比石英玻璃粗糙得多。随着刻蚀深度的增加,光解生成物的脱出变得困难,从而导致刻蚀速率的降低。选用较高的扫描速率和较低脉冲频率的组合进行激光扫描刻蚀能有效地降低刻蚀面的粗糙度。结果表明,对非金属材料的刻蚀,激光的能量密度在材料刻蚀阈值的2.5倍~4倍时能获得较好的刻蚀效果。
关键词
激光技术
157nm激光
激光参量
刻蚀
效率
刻蚀质量
Keywords
laser technique
157nm laser
laser parameter
etching efficiency
etching quality
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
等离子体刻蚀
2
作者
刘之景
机构
中国科学技术大学基础物理中心
出处
《自然杂志》
1998年第6期342-344,共3页
文摘
本文介绍了等离子体刻蚀的概念、优点和应用,刻蚀的物理机制和稠密等离子体源与器件损伤.
关键词
等离子体
刻蚀
器件损伤
稠密等离子体源
物理机制
刻蚀
率
刻蚀质量
集成电路制造
Keywords
plasma etching, devices damage, dense plasma sources
分类号
TN405.982 [电子电信—微电子学与固体电子学]
下载PDF
职称材料
题名
248nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究
被引量:
3
3
作者
田姗姗
陈涛
机构
北京工业大学激光工程研究院
出处
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期687-690,共4页
基金
北京市自然科学基金资助项目(4132017)
科技部国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2011YQ030112)
文摘
为了提高玻璃微通道的加工效率及质量,采用248nm准分子激光加工玻璃微通道的新型加工方法进行了理论分析和实验验证,取得了不同激光参量下玻璃微通道的加工工艺数据。结果表明,激光加工玻璃微通道的刻蚀阈值为4.54×103m J/mm2;随着激光能量的增加,刻蚀深度近似成对数增长,经线性拟合得到刻蚀深度随激光能量变化的公式;随着脉冲频率的增加,刻蚀深度近似成线性增长,经线性拟合得到刻蚀深度随频率变化的公式;且通道底面粗糙度随激光能量及脉冲频率的增加,呈增长趋势;激光的能量在400m J^600m J、脉冲频率在4Hz^7Hz范围的组合激光参量可实现刻蚀率高、粗糙度小的微通道加工。这些结果对于合理选择激光参量、提高玻璃微通道的加工效率及质量是有帮助的。
关键词
激光技术
玻璃微通道
248mn激光
激光参量
刻蚀
效率
刻蚀质量
Keywords
laser technique
glass microchannels
248nm laser
laser parameters
etching efficiency
etching quality
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
基于神经网络的157nm激光微加工
4
作者
崔健磊
戴玉堂
徐刚
白帆
机构
武汉理工大学光纤传感技术研究中心
出处
《应用激光》
CSCD
北大核心
2010年第4期300-303,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目(项目编号:50775169)
文摘
157nm激光被视为光刻和微加工的有力工具之一,其加工的表面质量强烈依赖于激光参数。针对157nm微加工的特点,提出建立人工神经网络优化工艺参数的方法。分析与实验结果表明,利用优化的工艺参数进行激光微加工,其刻蚀质量得到明显提高。
关键词
157nm激光
微加工
刻蚀质量
神经网络
工艺优化
Keywords
157nm laser
micromachining
etching quality
Artificial Neural Network
process optimization
分类号
TN305.6 [电子电信—物理电子学]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
157nm激光微加工过程中激光参量对刻蚀性能的影响
戴玉堂
崔健磊
徐刚
白帆
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2011
3
下载PDF
职称材料
2
等离子体刻蚀
刘之景
《自然杂志》
1998
0
下载PDF
职称材料
3
248nm准分子激光加工玻璃微通道的实验研究
田姗姗
陈涛
《激光技术》
CAS
CSCD
北大核心
2016
3
下载PDF
职称材料
4
基于神经网络的157nm激光微加工
崔健磊
戴玉堂
徐刚
白帆
《应用激光》
CSCD
北大核心
2010
0
原文传递
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部