Talbot剪切干涉法及其在斜率和曲率测量中的应用

本文提出了一种改进的Talbot剪切干涉法光路,即单光栅光路。给出了该光路详尽的理论分析。利用这一改进光路实现了离面变形的斜率和曲率测量。