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题名基于IC封装的Au凸点剪切断丝模拟及实验
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作者
刘曰涛
魏修亭
孙立宁
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机构
山东理工大学精密制造与特种加工省级重点实验室
哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2013年第4期306-311,共6页
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基金
国家高技术研究发展计划资助项目(2012AA040404)
山东省自然科学基金资助项目(ZR2012FL03)
哈尔滨工业大学机器人技术与系统重点实验室开放基金资助项目(SKLRS-2011-ZD-02)
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文摘
为提高IC封装过程中钉头Au凸点制备效率,需对Au凸点的形成机理进行分析,得出影响Au凸点质量的各种工艺参数。采用有限元仿真与实验相结合的方法,针对不同的劈刀剪切速度模拟剪切断丝过程,并在实际的引线键合机上进行实验。结果显示劈刀剪切速度越大,劈刀剪切Au丝时所受的作用力越小,但减小幅度不大。分析表明,当劈刀以较低速度进行剪切断丝时,需要克服较大的位错滑移能,而随着速度提高,滑移系增多,Au丝获得的热量增多,使得材料的塑性降低,从而能够减小剪切断丝时的剪切力,但由于Au丝的直径较小,剪切速度相对剪切距离又较大,所以剪切力的减小幅度对剪切过程影响有限,而且不同的剪切速度均能得到共面性较好的钉头Au凸点。
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关键词
电子封装
Au凸点
剪切断丝
有限元仿真
IC
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Keywords
electronic packaging
gold bump
shearing wire
finite element simulation
IC
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分类号
TN305.93
[电子电信—物理电子学]
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