纳米薄膜力学性能的尺寸相关性及其残余应力分析

系统地分析了纳米薄膜残余应力产生的物理机制，重点讨论了表面应力对纳米薄膜的影响，解释了纳米薄膜特殊的力学性能尺寸相关性，并通过考虑表面应力的有限元模型给出了纳米薄膜单轴拉伸的数值模拟结果。